扩散泵主要问题

到目前为止，获得高真空的zui为主要以及zui为普遍的工具之一，即为扩散泵，一般指的是油扩散泵。扩散泵为一种次级泵，其需要机械泵来被用作前级泵。油扩散泵为一种真空泵，其通过低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气，1-4e到1-5e帕为此种泵的极限真空，1-e到1-4e为工作压力范围。几十至十几万升/秒为抽速范围。油扩散泵为高真空获取的主要设备，其在真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中得到了非常广泛地应用。

扩散泵主要问题

油扩散泵真空系统的污染物来源如下：

1、抽气系统中密封材料放气所导致的污染。尤其是人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等，所导致的污染也同样的严重。

2、当泵停了以后将大气放掉，使得水蒸汽，油烟等在空气中粘污在真空零部件上，导致了真空系统的污染。

3、前级油封机械泵油的返流。此问题相当的严重，当入口具有比较高的压力的时候，在到达过渡区压力时，机械泵的油蒸汽就能够直接地往扩散泵内进入，直接地污染系统。机械泵返油为许多真空工艺过程的污染的来源。当将机械泵停掉时，如果往泵内放大气不及时，能够直接往扩散泵油锅内返还机械泵油。当启动扩散泵时会更加严重地污染系统。

4、zui为重大的污染源为扩散泵油蒸汽的返流。

5、在装配时使用有油的手拿系统中的零部件。使用有油污的手套拿，如此样粘染的有机分子能够造成系统内的污染。