电子级超纯水系统

电子级超纯水系统概述

电子级超纯水系统是指电子行业中使用的从原水至超纯水完整产生的纯化水生产系统，应用蒸馏、反渗透技术、去离子化或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒等有机物其产出的水是一般工艺很难达到的程度。

电子级超纯水系统能够满足半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需要的大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

电子级超纯水系统特点

电子工业超纯水系统通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。水箱设有液位控制系统、水泵设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用模块化组合PLC，及通信远程输送至中控室上位机，实现现场就地和集中控制两种操作方式，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

电子级超纯水系统应用领域

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；

2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；

4、汽车、家电表面抛光处理；

5、光电子产品；

6、其他高科技精微产品。

电子行业专用超纯水系统工艺流程

1、预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点。

2、预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点。

3、预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点。

4、预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点。

5、水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)。

6、超纯水系统反渗透(膜分离)法超纯水制造技术

电子行业用超纯水系统的工艺流程

反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来，方向与渗透方向相反，可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。