在电子工业超纯水系统中的TOC影响

? 水是人类所使用的Z常见的试剂超纯水是电子工业在晶圆清洁与生产中所使用的耗量Zda效用Z强的溶剂 在过去40年中，电子工业的发展已经推动蚀刻至硅芯片的电路数目指数级的增加电路数目巨幅增加已使得线路宽度明显减小，从而大幅提升了所用超纯水的极ng确和连续测量的要求