中科科仪精彩亮相国际真空展 共话真空技术发展与半导体产业创新实践

展会期间，中国真空学会对我国真空科学与技术领域取得创造性成果和做出突出业绩的青年科技工作者进行表彰，李赏被授予“2025年中国真空学会真空科技青年创新人物”荣誉称号。李赏主要从事超高真空获得技术研究、产品开发及产业化工作，主导完成系列仪器行业专用分子泵、磁悬浮分子泵的研发及产业化，产品批量应用于质谱分析仪及集成电路前道工艺制造等领域，助力我国高端装备核心零部件自主可控和真空行业发展。

展会同期举办“真空科技、装备与前沿应用峰会”，设置“大科学装置、半导体产业前沿、高端真空装备”三大高端论坛，承办“半导体产业前沿论坛”。论坛期间，北京真空学会秘书长、真空技术研发中心主任宋海燕进行《分子泵关键技术演进及在半导体装备中的应用》的主题报告。与此同时，本次论坛特邀北京华丞电子有限公司总裁牟昌华、安徽万瑞冷电科技有限公司副总经理武义锋、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司副总经理孔祥玲、北京烁科中科信电子装备有限公司研发项目负责人喻晓、北京芯微诺达科技有限公司副总经理尹彬、上海市真空学会秘书长莫晓亮分别进行主题为《半导体行业精密测控零部件技术研究现状及发展》《低温真空产品在半导体装备上的国产化应用进展》《真空干泵国产化进展及其在集成电路领域的应用》《国产离子注入装备发展现况》《真空技术在微纳加工中的应用》《真空薄膜工艺在半导体产业的应用和发展》的专题报告。各报告嘉宾分享真空技术干货与半导体行业创新应用，围绕第三代半导体、先进封装等前沿领域开展技术预判，共同探讨半导体产业的前沿技术与创新实践，现场座无虚席，气氛热烈。