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突破0.1微米检测极限重新定义半导体洁净度标准

来源:英微米光电(武汉)有限公司      分类:新品 2025-03-06 18:10:33 50阅读次数
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UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子计数器:突破0.1微米检测极限,重新定义半导体洁净度标准

2025年3月6日——领先的光电技术企业UK MICRON OPTOELECTRONICS正式发布全新升级的U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计,采用革命性激光传感技术与智能采样系统,可检测0.1微米级表面颗粒污染,助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。

核心技术创新

纳米级检测能力

U-III搭载HeNe激光传感器,分辨率达0.1微米,支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计(0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm),覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。

静态采样模式:通过优化气流控制,减少测量误差,提升数据稳定性。

智能化设计与操作体验

7英寸高分辨率触控屏:支持实时数据可视化与交互操作,简化流程。

双电池热插拔系统‌:支持连续生产场景下的不间断作业,电池更换无需停机。

USB数据接口与软件升级‌:便捷导出检测报告,并可通过固件更新持续优化性能。

行业应用与效益

提升制造效率

减少50%自净时间‌:通过量化表面污染数据,缩短设备维护周期(PM周期),提升产线吞吐量。

延长MTBC(平均无故障周期):结合颗粒控制策略,关键设备可靠性提升4倍以上。

覆盖高洁净场景

半导体制造:晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。

精密光学与电子:液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制。

符合国际标准

产品严格遵循ISO-14644-9表面粒子控制规范,为半导体厂商提供标准化检测工具。

市场评价与展望

U-III的发布标志着表面污染监测技术迈向纳米级精度时代。行业分析师指出,该设备通过量化颗粒数据与智能反馈机制,将推动半导体制造从“经验驱动”向“数据驱动”转型,进一步降低因微粒污染导致的良率损失。目前,QIII系列已获得多家国际头部晶圆厂的采购意向,预计将在2025年第二季度实现量产交付。

关于UK MICRON OPTOELECTRONICS‌

作为光电传感领域的领军企业,UK MICRON OPTOELECTRONICS持续深耕半导体检测与精密光学技术,其产品线覆盖表面微粒检测、激光粒度分析及高精度热成像等场景。


标签:高精度表面粒子检测仪表面颗粒计数器表面粒子计数器

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最近更新:2025-03-06 18:33:31
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