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飞纳电镜 -- 从飞利浦到赛默飞,是最“老”的电镜,也是最“新”的电镜!(上篇)

来源:复纳科学仪器(上海)有限公司      分类:成果 2024-11-05 17:34:52 45阅读次数
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为什么说是最“老”的电镜?

这个故事要追溯到1939年 >>>


1939 年夏天,代尔夫特理工大学的 Le Poole 提出了制造电子显微镜的构想,尽管当时这一技术在生物学研究中的应用尚存争议。Le Poole 不畏挑战,于 1941 年成功研制出两级电子显微镜,并拍摄了首张电子显微照片。面对 40kV 加速电压的限制,他与飞利浦物理实验室合作,开发了 150kV 电子显微镜,于 1944 年春季成功研制,标志着电子显微镜技术的一大飞跃。


Le Poole 的创新不仅限于提高电压,还包括在物镜与投影镜头间加入额外镜头,实现 6400 倍至 80,000 倍的连续放大,以及引入小孔镜头实现无需移动样品的衍射模式切换。这些创新后来成为飞利浦商业产品的标准特性,1949 年,飞利浦推出了第一台商业化电镜 EM100。


随着技术的发展,飞利浦在 1954 年推出了以大尺寸物镜减少球差、提升图像质量的 EM75 型透射电子显微镜。1966 年,飞利浦 EM300 实现了 2.5 埃的分辨率,首次推出六级透镜系统。1972 年,飞利浦进军 SEM 市场,推出了高分辨率的 PSEM500 型号,并在 1997 年推出了能在常规及低加速电压下提供清晰图像的场发射扫描电子显微镜。


1996 年,飞利浦电子光学公司的母公司 Philips Electronics N.V. 收购了 FEI 55% 的股份,并在 1997 年将 FEI 与飞利浦电子光学业务合并,形成了新的 FEI 公司。这一合并不仅让飞利浦获得了 ElectroScan 的 ESEM 技术,也增强了其技术实力,FEI 随后推出了一系列新产品,并在 FIB 市场的地位得到加强。


飞利浦与 FEI 的结合,不仅是技术的融合,更是历史的传承,共同推动了电子显微镜技术的发展,为全球科研和工业领域提供了强大的工具。


 第一台商业化电镜 EM100


第一台的诞生


2006 年,FEI 成立 Phenom World 公司,发布全球第一台台式扫描电子显微镜飞纳(Phenom),放大倍数 10,000 倍,这也是市面上首次使用寿命长达 1500h、高亮度、低色差的 CeB6 晶体灯丝。传统电镜使用钨灯丝,使用寿命仅约 100h 左右。


2012 年 3 月,Karel.Mast 教授带领原飞利浦电镜部门精英研发出世界首台电镜能谱一体机,能谱探头从此可以安全地待在电镜外壳内部;同时推出 3D 粗糙度测量等软件;2013 年 4 月,Phenom World 优化 CeB6 灯丝和内部防震设计,将分辨率优化到 17nm, 正式推出第三代产品,放大倍数 100,000 倍,与大型钨灯丝电镜分辨率接近,同年 11 月推出颗粒测量统计系统;其后不久,Phenom World 推出了新产品 Phenom XL, 可容纳样品尺寸 100x100mm,可选配二次电子,支持原位拉伸/压缩等测试,拓展功能媲美大型钨灯丝电镜;同时推出了孔径测量统计系统;2015 年,PhenomWorld 推出第 4 代产品,分辨率达到 14nm,放大倍数 13 万倍。



2016 年,发布第 5 代产品,分辨率突破 10nm。同年 FEI 被赛默飞世尔科技以 42 亿美元收购,2018 年,PhenomWorld 公司被赛默飞收购,从此电镜产品线更名为 Thermo Scientific 品牌,但技术上仍继承了 FEI 的创新成果。



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所以的机身 Logo,历经了 3 代变化。FEI-PhenomWorld-ThermoScientific,不过不管 Logo 怎么变化,都是我们。来看看你正在使用的,是哪个 Logo 吧。




香港理工大学的 Phenom Pro G1,你发现了吗?机身 Logo 是 FEI,已经服役 14 年,目前还在正常使用。FEI Logo 的用户,都已经使用 10 年以上啦。



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天津农学院的 Phenom Pro(上图),北京沃尔德金刚石工具股份有限公司的Phenom XL(下图,100x100mm大样品仓室版本),你发现了吗?机身 Logo 位于底部中间位置,是 Phenom World 标志。目前也分别服役 6 年和 8 年啦,天津农学院还搭配了冷台使用,可直接观测含水样品。





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现在,你应该已经明白了为何能被誉为最“老”的电镜了吧。这里的“老”,可不是指年纪大、“行动”迟缓,而是指它那百年的技术传承,悠久的历史和成熟稳定的技术。,全球 5000+ 用户选择,不仅仅是一个品牌,它是一种承诺,一种对卓越品质的不懈追求。选择飞纳,就是选择了一个历经时间考验,却又永远走在时代前沿的伙伴。


那么为什么说也是最“新”的电镜呢?我们下篇继续为您详细讲解。




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最近更新:2025-04-24 10:47:17
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