Horos-小型光学粗糙度传感器

德国Fraunhofer IOF 的Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。

参数：

• 测量波长：650nm
• 灵敏度：ARS＜ 10^-4sr^-1，rms＜0.5nm
• 工作距离：＞10mm
• 测量时间：＜1S
• 校准定量测量
• 紧凑尺寸：200×170×65mm³
• 可选配：与机械臂结合

  
  

应用：

• 将传感器直接集成到光学制造过程中进行质量控制，直接控制探测器矩阵（看曝光时间）和激光功率（手动和自动操作）

• 散射分布的实时视图

• 用于检测ARS和BRDF的自动化例程

• 图形化显示测量结果

• 对于抛光的不透明表面：根据散射数据计算均方根粗糙度（0 . 5 n m至2 0 n m )和粗糙度功率谱密度函数（空间带宽在0.02μm-1至0.2μm之间）

• 数据导出（ASCII和JPG)