邀请函：KRüSS诚邀您参加Productronica慕尼黑上海电子生产设备展

展会信息

慕尼黑上海电子生产设备展

展会时间：2025.3.26 - 28

展位号：W1-1702

解决方案

接触角测量可对晶圆进行非破坏性测试，检测晶圆表面的清洁度和监控质量的均匀性。即使表面结构发生了微小的变化，接触角也会灵敏的反映出来。

KRüSS的DSA100W液滴形状分析仪在定义的测量位置（“绘图”）基础上，进行一系列全自动测量。不同位置接触角的测量结果可反映样品的均一性或不同区域之间的差异。

晶圆表面和光刻胶之间的接触特性尤为重要，尤其是旋涂光刻胶的工艺过程，润湿性影响了光刻胶在晶圆上的分布。

浸没式光刻过程中，光刻胶表面和水的润湿性也尤为关键。曝光时水在晶圆表面形成动力学接触角，前进角和后退角的控制对曝光质量也会产生很重要的影响。

KRüSS的DSA系列液滴形状分析仪可以系统的分析光刻胶在晶圆表面的静态接触角，或者使用倾斜台的方法，测试水在光刻胶表面的动态接触角。

湿电子化学品的质量监控

表面张力决定了湿电子化学品在固体表面的铺展能力，较低的表面张力使液体能够更好地润湿固体表面，实现均匀覆盖。而接触角越小，说明液体在固体表面的润湿性越好，直观地了解湿电子化学品与固体表面的亲和程度。