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邀请函:KRüSS诚邀您参加第六届半导体湿电子化学品与电子气体论坛

来源:克吕士科学仪器(上海)有限公司      分类:动态 2025-03-12 15:30:14 46阅读次数
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会议信息

近年来,我国湿电子化学品企业整体进步较为明显,除部分复配型产品,例如清洗液、刻蚀液等产品,其余种类几乎均可实现国产化。

未来几年,中国半导体制造产业将高速发展,受传统晶圆厂扩产、先进制程需求增长、第三代半导体项目加速及国产替代推动,国内湿电子化学品与电子气体需求增速超全球,迎来空前发展机遇。

KRüSS诚邀您参加

第六届半导体湿电子化学品与电子气体论坛

会议时间:2025.3.19

展位号:8

会议地址:杭州海外海皇冠大酒店

(杭州上塘路333号)

典型应用

1.精确测定湿电子化学品的静态表面张力

表面张力决定了湿电子化学品在固体表面的铺展能力,从而实现更好的润湿效果。此外,在一些涉及复杂微观结构的电子元件制造中,低表面张力的湿电子化学品能够精确地渗透到微小的间隙和孔洞中,确保在整个元件表面实现均匀的润湿和铺展。

Tensíío表面张力仪

2.清洗液的动态表面张力与清洗效率

在清洗液的诸多关键特性中,动态表面张力尤为值得深入探究,尤其是在喷淋清洗中,清洗液以高速喷射到固体表面,只有当表面张力迅速降低,清洗液才能在与固体表面接触的瞬间,凭借较低的表面张力实现良好的润湿和铺展。

而动态表面张力仪,通过在不同的时间尺度下测量清洗液表面张力的变化情况,直观地反映出不同表面活性剂在特定条件下降低表面张力的速率。

BP100气泡压力张力仪和测试示例曲线

3.通过接触角分析湿电子化学品在固体表面的润湿性

接触角是衡量液体对固体表面润湿性的直接指标。接触角越小,说明液体在固体表面的润湿性越好,可以直观地了解湿电子化学品与固体表面的亲和程度。例如,在半导体蚀刻工艺里,较小的接触角使得蚀刻液能够高效地覆盖晶圆表面,影响着蚀刻反应的速率。

DSA25接触角测量仪

不同成分的蚀刻液在玻璃表面的接触角

4.抛光液等液体的泡沫行为监控

抛光液中泡沫的产生会带来诸多不利影响。KRüSS的泡沫分析仪可以对抛光液等液体的泡沫行为(起泡性, 泡沫稳定性,泡沫尺寸和大小)进行监控,检测抛光液在不同条件下的起泡情况,以及分析泡沫生成后维持存在的时长,这有助于判断在整个抛光过程中泡沫可能带来的持续影响。

DFA100泡沫分析仪

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最近更新:2024-09-05 09:08:14
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