国家发改委已批复重大科学装置—纳米真空实验室计方案和投资概算

　　纳米级结构材料具有光学、热学、电学、磁学、力学以及化学方面的性质，决定了纳米材料的广泛用途，如：可制成磁性液体，用于电声器件、阻尼器件、旋转密封及润滑和选矿等领域。可以用它们制作温度传感器、红外线检测仪和汽车尾气检测仪，检测灵敏度比普通的同类陶瓷传感器高得多。在大规模集成电路器件、光电器件等领域发挥重要的作用等等。

　　为了拓展对纳米材料研制，纳米真空互联实验站所落户的苏州工业园区。2014年开始建设“纳米真空互联材料制备及分析测试平台”。一期建设已完成。近日，国家发展改革委员会已批复科教基础设施纳米真空互联材料制备及分析测试平台项目初步设计方案和投资概算。该平台的建成将成为我国在纳米领域从基础研究到应用开发的全球领先地位的标志。提升我国重大仪器设备的研制水平。 

       纳米真空互联材料制备及分析测试平台

　　世界首 个集材料生长、器件制备、测试分析为一体的纳米领域大科学装置。纳米真空互联综合实验站总体方案是：用总长近500米的超高真空管道，将上百台用于材料生长、器件制备、测试分析的大型仪器设备互联，实现样品在不同设备之间传送时其表面不被氧化、沾污，不被外界大气环境所破坏。实验站通过超高空间分辨、时间分辨、能量分辨、质量分辨等的高端能力仪器设备，对物质的“本征性质”进行研究，从而实现量子材料的设计、制备和表征，后摩尔时代器件加工和测试分析，同时开展新材料、新工艺、新结构和新功能的开发和研究，以及形成第三代半导体工艺包。

　　纳米真空互联实验站可以开展硬件研制，也能开发新的工艺，超导器件、半导体器件等对表面敏感的材料器件的制造，量子材料的设计、制备，制造强大的量子计算机。利用这套装置，生产很多更智能化、更可靠、更小型的器件，可应用于通讯、信息、人工智能等领域。