全国几何量长度计量技术委员会发布《激光共聚焦显微镜校准规范》

引用文件

《JJF 1071-2010 国家计量校准规范编写规则》、《JJF 1001-2011 通用计量术语及定义》、《JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示》、《GB/T 19067.1-2003 产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法测量标准 部分：实物测量标准》。

激光共聚焦显微镜通过约束性照明和约束性探测，借助轴向扫描获得光学层析图像，并通过提取轴向信号位置确定区域样品表面形状，具有高分辨力、纵向层析、非接触等特征。广泛应用于材料科学、微纳米加工、半导体器件和生命科学等领域。

测量标准

激光共聚焦显微镜校准项目所采用的标准样板为周期栅格标准样板(包含10个以上周期)、台阶高度标准样板、标准平面镜以及标准微球阵列样板，样板均匀性应小于3%，根据校准时选用的物镜放大倍率、视场范围等选取相应的标准样板。

水平方向测量示值误差

根据校准时选用的物镜放大倍率选取相应二维栅格标准样板进行激光共聚焦显微镜水平方向测量示值误差测量。

调整样品台，旋转标准样板使二维栅格标准样板与X轴或Y轴平行放置，调节标准样板水平，记录扫描图像以及对应的物镜放大倍率，如图3所示。

垂直方向测量示值误差

根据校准时选用的物镜放大倍率选取相应台阶高度标准样板进行激光共聚焦显微镜垂直方向测量示值误差测量。将台阶标准样板放置于视场中心，调整台阶样品使其边缘垂直于激光共聚焦显微镜扫描方向，选取台阶居中区域对样板进行扫描，得到台阶表面的三维形貌重构图像，在测量区域内，均匀的选取十条轮廓线，使用ISO5436-1标准中的W/3准则对台阶高度进行测量，如图4所示，以十次轮廓线测量结果的平均值作为此次测量值，测量值与标准样板实际值的差为测量示值误差。