爱发科商贸（上海）有限公司

2025-03-14 13:30:10 24阅读次数

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公司简介

爱发科商贸（上海）有限公司自成立后，先后在北京、深圳、大连、苏州、成都、合肥、西安、鄂尔多斯、武汉、厦门、重庆和广州开设了分公司和服务中心，今后还将根据客户工厂投资情况不断优化爱发科在全国的客户服务据点分布，持续为客户提供完善的售后服务保障。应用于电子半导体、FPD、新能源、真空系统配套设备以及先端材料等各个不同领域，是最专业的真空薄膜综合解决方案提供商。

主营产品

平台型刻蚀设备uGmni-200E

uGmni-200E是在同一平台上配备满足各种不同工艺需求腔体的刻蚀设备，通过尽可能采用相同的通用部件来减少备件，并提高这些不同腔体之间相同操作面板的可用性。这进一步提高了先进电子产品制造过程的效率。

GaN射频器件（GaN RF Device）

针对GaN射频器件的整套解决方案

溅射·刻蚀·去胶·蒸镀·离子注入·PECVD的整套解决方案

特别是面向GaN的器件，低损伤刻蚀技术是ULVAC的重要关键技术

丰富的研发·生产·服务，符合顾客量产要求的实绩

针对顾客多种需求所建立的研发·生产·服务体制

针对客户需求提出有效方案，在中国有大量销售实绩

同时在推进新技术开发，新材料开发，具备完整的DEMO体制

一次性蒸镀卷绕设备

属性：一次镀膜，双面，高速

优势：1.单次完成正反面1um镀膜；

2.更低的方阻

3.高速的生产速率；

4.稳定的量产性能

ULVAC 设备系列/ 锂电池技术路线

ULVAC卷对卷设备开发历史

ULVAC自20世纪60年代以来开始生产卷对卷设备，随着时间的推移设备应用于各种领域，从一般工业材料部件到显示器部件，现在又到电动汽车部件。

ULVAC低温泵 CRYO-U系列

特点

拥有直径4-30英寸的10种以上标准机型的低温泵，还可根据客户需要生产以下用途的高性能低温泵。

? 适用于节能…多台低温泵的多极运转系统

? 适用于溅射装置…高排气容量型低温泵

? 适用于减少使用空间…L型低温泵

? 适用于超高真空…烘烤型低温泵

? 适用于实验装置、分析机器…防振型低温泵

? 适用于腐蚀气体排气…防腐蚀型低温泵

? 适用于专门排水气…超级冷阱

此外，还可提供能节省再生时间的带式加热器，抗噪音能力强的低温温度计及自动再生系统等选购配件。低温泵运用在客户重要生产线上，为能为客户随时提供及时、优秀的维修服务，本公司在日本全国设有30个以上服务据点，在韩国、中国、亚洲、北美、欧洲也设立了服务据点。

检漏仪Heliot 900 series

HELIOT 900系列排气速度快，使用简便，是所有检漏仪器中较好的选择。

特点

·高速排气性能：在超微漏模式下He的排气速度达到5L/s

·采用与本体独立的平板触模式显示器：搭载无线控制系统

·可进行直观操作：高精度的识别性及简易的测试画面

·支持多种真空泵：油旋片泵，涡旋型干泵

·904系列装有方便使用、操作简单的移动台车，901系列也可以选购推车

·优异的维护保养性：保守面板可以进行简单拆卸，名部件的保养也十分简便，搭载作业使用说明书画面

·真空法除了可检出氦气，还可检测出氢气

用途

·管道、部品等各类部品的检漏

·真空装置气密性检查

·汽车部品、空调部品、热交换器部品的产品检查

·食品、医药品等包装的密闭性检查

·氦气和氢气的流量及透过量的测量

RF电源

特点：

RFS-N系列是13.56MHz · 0.5kW/1/kW/3kW/5kW输出的等离子工艺用的RF电源。

RMG-1310是13.56MHz · 300W的输出的匹配器一体型RF电源。用于RF溅射、等离子CVD蚀刻、等离子工艺。

·采用高效率的增幅器

构成高转换效率的RF电路，达到节能效果。

·高速的自动匹配性能

通过独特的算法，追踪等离子特有的阻抗变动，实现高速稳定的自动匹配，提供稳定的工艺环境。

·RF电源里内置自动匹配控制器，机器构成简单

仅通过RF电源单元本身即可进行匹配控制。

内置自动匹配控制器，可以手动操作RF电源和匹配盒。

·支持灵活的控制形态

能够进行外部模拟控制和串行通信控制。

·高可靠性

ULVAC常年积累的技术知识反映在设计之中，值得信赖。

·RMG-1310匹配器与RF电源一体化，实现小型轻量化。

·RMG-1310低输出时可以控制，从研究开发到量产设备，适用范围广泛。

用途：

·溅射设备

·CVD设备

·等离子清洗设备

·等离子蚀刻设备

·等离子去胶设备

·RF离子源

·射频中和器

X射线光电子能谱仪XPS/HAXPES

XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)，又称ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是利用X射线入射样品表面，探测样品表面出射的光电子，来获得表面组成及化学态信息的一种表面分析方法。XPS可对元素成分进行定性定量分析，同时通过微聚焦扫描技术可以实现微米级空间分辨能力，因此广泛应用于科学研究和高科技产业等须域，包括材料科学、能源科学、半导体器件、微电子器件以及表面处理和表面异常检测等。

PHI GENESIS

全自动多功能扫描聚焦X射线光电子能谱

特点

·易操作式多功能选配附件

·全自动样品传送停放

·高性能大面积和微区XPS分析

·快速精准深度剖析

·为电池、半导体、有机器件以及其他各领域提供全面解决方案

飞行时间二次离子质谱仪TOF-SIMS

TOF-SIMS(Time of Flight Secondary lon Mass Spectrometry)是利用脉冲离子束轰击样品表面产生二次离子，经飞行时间分析器分析二次离子到达探测器的时间，从而获得样品表面成份信息的分析技术。其表面灵感度高，提供表面几个原子层的分子、元素及其同位素的组成信息，运用于所有元素和同位素，包括氢元素。

PHI nanoTOF 3+

全新外观、紧凑设计、更强性能