先进多功能二维材料生长系统 BTF-1200C-II-SSL-CVD

技术参数

加热系统：

炉管尺寸：外径(50mm,60mm,80mm,100mm)可选

加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)加热区长度：230mm+230mm

恒温区长度: 80mm+80mm(±1℃)

工作温度：1100℃

温度：1200℃

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度:±1℃ 升温速度：20度/分钟

炉门结构：开启式

工作电源：AC220V /50HZ 额定功率:4KW

供气系统

标准量程(N2)：100sccm、200sccm、500sccm;

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

压力：3MPa

连接头类型：双卡套不锈钢接头Φ6

低真空系统

空气相对湿度≤85%

工作电电压：220V±10% 50~60HZ

功率：1千瓦

抽气速率：4L\s

极限真空：4X10-2Pa

实验真空度：1.0X10-1Pa