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Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统

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Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统 核心参数
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详细介绍


Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。

Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。

优点:

1、控制可\达300毫米的晶圆

2、高\效的CL-SEM扫描成像效率

3、同时进行电镜成像和光学信号采集

4、边缘检测,晶圆准确定位(优于10µm)

5、对晶圆翘曲度自动映射和调整

特点:

Säntis 300系统提供3种不同的采集模式,为不同的需求和应用量身定制:

• 面扫描模式(FWBrush模式)

• 线扫描模式(AWPix模式)

• 多点扫描模式

 

工业市场应用:

1、GaN 及其应用:

 高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例,LED故障影响安全,危及人身安 全;UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性;LED故障会使人的生命处于危险之中,例如在灭菌和消毒应用中。

2、光子学:激光光子学

3、电力电子应用 GaN:电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装,例如物联网或汽车应用

4、II-VI族材料:GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子;电力电子SiC ;µLED

其他应用举例:

微观结构发光二极管(MicroLed)

LED质量控制

GaN中的螺纹位错缺陷计数

碳化硅衬底质量控制


产品优势
Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。
Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。
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