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半自动12英寸快速退火炉RTP
- 品牌：上海量伙
- 型号： 12-RTP
- 产地：浦东新区
- 供应商报价： 面议
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量伙半导体设备（上海）有限公司
更新时间：2021-05-07 08:36:02 -
企业性质生产商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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- 详细介绍
设备规格:
适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者至多支持 300mmx300mm 样品；
退火温度范围 300℃-1000℃；
升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
温度均匀性 ≦±1%；
真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；
冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
MFC控制，3-5路制程气体。
应用领域:
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；
金属合金；
热氧化处理；
化合物合金（砷化镓、氮化物等）；
多晶硅退火；
太阳能电池片退火；
高温退火；
高温扩散。
