-
-
韩国Nanoscope Systems 半导体晶圆质量检测系统NS3500 Solar
- 品牌:韩国Nanoscope System
- 型号: NS3500 Solar
- 产地:韩国
- 供应商报价: 面议
- 泰州新飞光电有限公司 更新时间:2024-04-09 09:44:17
-
企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
- 同类产品NS3500 Solar(1件)
-
为您推荐
- 韩国Nanoscope Systems 半导体晶圆质量检测系统NS3500 Solar 核心参数
- 详细介绍
NS3500 Solar 半导体晶圆质量检测系统
NS-3500 Solar 是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,可以为半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等提供各种解决方案。
Features & Benefits(性能及优势):
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
自动聚焦
Application field(应用领域):
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析
Specifications(规格):
Model
Microscope NS-3500 Solar
备注
物镜倍率
10x
20x
50x
100x
观察/ 测量范围
水平 (H): μm
1400
700
280
140
垂直 (V): μm
1050
525
210
105
工作范围: mm
16.5
3.1
0.54
0.3
数值孔径(N.A.)
0.30
0.46
0.80
0.95
光学变焦
x1 to x6
总放大倍率
178x to 26700x
观察/测量光学系统
Pinhole共聚焦光学系统
高度测量
测量扫描范围
400 um
注 1
显示分辨率
0.001 μm
重复率 σ
0.010 μm
注 2
帧记忆
像素
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
单色图像
12 bit
彩色图像
8-bit for RGB each
高度测量
16 bit
帧速率
表面扫描
20 Hz to 160 Hz
线扫描
~8 kHz
激光共焦测量光源
波长
405nm
输出
~2mW
激光等级
Class 3b
激光接收元件
PMT (光电倍增管)
光学观察光源
灯
10W LED
光学观察照相机
成像元件
1/2” 彩色图像 CCD 传感器
记录分辨率
640x480
自动调整
增益, 快门速度, White balance
数据处理单元
PC
电源
电源电压
100 to 240 VAC, 50/60 Hz
电流消耗
500 VA max.
重量
显微镜
Approx. ~50 kg
(Measuring head unit : ~12 kg)
控制器
~8 kg
隔振系统
气浮光学平台隔振系统
Option
注1:精细扫描由压电执行器(PZT)执行。
注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量。
- 产品优势
- NS-3500 Solar是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有各种解决方案。
激光波长: | 405nm | 激光功率: | 2 mW |
放大倍数: | 10-150X | 水平分辨率: | 140nm |
Z轴分辨率: | 20nm |