真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

旋片初级真空泵和480m3 /h的机械增压泵

频射发生器

0~2500W可调。KHz发生器

控制系统

PLC可实现下列功能：

自动控制反应过程；

根据处理材料设定不同的处理工艺参数；

测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；

监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；

设定操作、维护密码。

电源

380V AC, 三相，50Hz, 40A

反应气体

一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）

气体输入

直径1/4英寸（6.35mm） 管道；输入压力：1Bar

尾气排放

直径38mm 输出端口

性能

急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE认证。