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德国 Diener 低压等离子设备 等离子清洗机 FEMTO

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德国 Diener 低压等离子设备 等离子清洗机 FEMTO 核心参数
样品腔尺寸 Ø100 mm*L278mm 样品腔容积 2.2L
射频功率 13.56MHz,0-100W 频率 13.56MHz

产品特点

2.2L-3L腔体,小型精密桌面型设备,高性价比。
半自动与全自动可选,
发生器频率可选。
提供工艺支持与样品测试。

详细介绍

等离子清洗机FEMTO

等离子工艺除清洗与活化外,还具有蚀刻与涂层的功能。可以应用于多种领域。

l  硅蚀刻

l  PTFE蚀刻

l  去除光刻胶

l  提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性

l  疏水层的沉积

l  亲水层的沉积

l  保护或绝缘层的沉积

l  防扩散层

主要技术参数:

1.    全自动控制

2.    *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量,时间等参数

3.    单路工作气体,气体流量通MFC流量计控制

4.    反应舱为不锈钢,Ø100 mm*L278mm,容积约为2.2L

5.    射频频率13.56MHz,功率0~100W

6.    电极材质为铝/不锈钢

7.    运行模式为手动

8.    真空泵的排气能力为4m3/Hour,配有强制进气阀

9.    *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值

10. 外尺寸:W310*D420*H330mm

11. 电源电压:单相AC230V 16A

 


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