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德国 Diener 低压等离子设备 等离子清洗机 FEMTO
- 品牌:Diener
- 型号: FEMTO
- 产地:欧洲 德国
- 供应商报价:面议
- 旭阿科技(上海)有限公司 更新时间:2023-11-09 09:56:37
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销售范围售全国
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 德国 Diener 低压等离子设备 等离子清洗机 FEMTO 核心参数
产品特点
- 2.2L-3L腔体,小型精密桌面型设备,高性价比。
半自动与全自动可选,
发生器频率可选。
提供工艺支持与样品测试。 详细介绍
等离子清洗机FEMTO
等离子工艺除清洗与活化外,还具有蚀刻与涂层的功能。可以应用于多种领域。
l 硅蚀刻
l PTFE蚀刻
l 去除光刻胶
l 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
l 疏水层的沉积
l 亲水层的沉积
l 保护或绝缘层的沉积
l 防扩散层
主要技术参数:
1. 全自动控制
2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量,时间等参数
3. 单路工作气体,气体流量通MFC流量计控制
4. 反应舱为不锈钢,Ø100 mm*L278mm,容积约为2.2L
5. 射频频率13.56MHz,功率0~100W
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour,配有强制进气阀
9. *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
10. 外尺寸:W310*D420*H330mm
11. 电源电压:单相AC230V 16A
样品腔尺寸 | Ø100 mm*L278mm | 样品腔容积 | 2.2L |
射频功率 | 13.56MHz,0-100W | 频率 | 13.56MHz |