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Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE
- 品牌:Diener
- 型号: FEMTO RIE
- 产地:欧洲 德国
- 供应商报价:面议
- 上海尔迪仪器科技有限公司 更新时间:2024-09-02 08:54:08
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照已审核
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产品特点
- ·适用6寸以下样品的处理
·用于塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式,实现控制高机能
·桌上型,省空间
·适合于研究院、高校、研发使用 详细介绍
特点:
·适用6寸以下样品的处理
·用于塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式,实现控制高机能
·桌上型,省空间
·适合于研究院、高校、研发使用
用途:
·表面清洗活化
·表面蚀刻
规格:
型号
FEMTO RIE(防腐)*1
FEMTO RIE(防腐)*1
控制方式
按键操作控制
Windows CE 7”触摸屏操作控制
操作方式
手动
手动/自动
程序存储
—
50组
工艺过程监控
—
二维折线图与数字实时显示
程序偏离值
—
抽真空时间、进气量偏差值,实际功率输出
报错功能
—
显示详细的报错信息
数据导入导出
—
USB
选程控制
—
选配
工艺气路
单路,双路,三路
工艺气体
O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1
流量计
针阀流量计(可选防腐针阀流量计)*1
MFC流量计(可选防腐MFC流量计)*1
冲洗气路
一路
泄气气路
一路
真空计
指针式/0-10mbar
数字式/0-9.99mbar
计时器
0~999.9H
真空腔体
不锈钢圆形腔体
盖子门带观察窗
尺寸Φ190mm x H60mm
容积1.7L
电极
不锈钢气浴RIE电极, Φ160mm
发生器
40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W
外形尺寸(WxDxH)
560 x 600 x 860mm
电源
AC230 V / 16 A
真空泵
排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa
选配功能
托盘冷却,腔体温度监控,冷水纲
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技术资料
解决方案
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