bruker SDD EDS 平插式 元素分析仪

X射线探测的高效率与灵敏度 ——XFlash FlatQUAD QUANTAX FlatQUAD是基于革 命性的XFlash FlatQUAD探测器 的EDS微区分析系统。这一独 特设计的环形四通道SDD探测 器工作时位于扫描电镜极靴和 样品之间，能够获得EDS分析 较大的固体角。结合ESPRIT分 析软件, QUANTAX FlatQUAD 系统对于传统斜插式能谱很难 分析的样品，可提供优 素面分布效果。 XFlash FlatQUAD探测器的探头组件中，四个独立的硅漂 移芯片成环形排列于中心孔四周，入射电子束从该中心 孔穿过。探测器材料经过特殊选择, 避免对电子束产生 影响, 保证高质量的电镜图像。 使用全新的探测器技术， QUANTAX FlatQUAD系统的核心—XFlash FlatQUAD探测 器，基于新颖的探测器设计理念，安装于扫描电镜 样品 仓的水平接口 ， 使探测器置于电镜极靴和样品之间。而 传统的探测器则采用电镜的倾斜接口。XFlash FlatQUAD 探测器能够与不同类型的扫描电镜兼容。 探测器配置了不同厚度的特殊聚合物窗口，可吸收不同 加速电压下的背散射电子。

扫描电镜能谱分析优化的固体角：

XFlash FlatQUAD探测器芯片的位置和 尺寸（4×15mm 有效面积）提供了扫描 电镜中X射线采集的较大固体角。能够 获得大于1sr的固体角和至少60°的检 出角。

超高计数率和能量分辨率兼得 超高的采集效率带来超高的计数率， 每块芯片都配备了独立的信号处 理通道。输入计数率（ICR）和输出计数 率（OCR）可分别高达4,000kcps和1,600 kcp s 。布鲁克专业的SDD技术使得 XFlash FlatQUAD在计数率100kcps内保 证能量分辨率达到Mn-Kα126eV,C-K 51eV，F-K60eV）。

。 原理

XFlash FlatQUAD是一款平插式探测 器，置于扫描电镜极靴和样品之间。 四块硅漂移晶体成环形排列于中心 孔四周，入射电子束从中心孔穿过。 适用于不同的工作距离并具有优异 的性能。