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BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统,性价比高,具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能,样品尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片,广泛用于大学,研究所等科研实验室。
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Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长, LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量,就可以获得准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。