实验室常用设备

UNIXX DB20 型晶圆显影机是一款针对8寸及以下尺寸晶圆的半自动系统，系统可集成显影，清洗，干燥等模块，同时可用于方片显影，尺寸150mm*150mm。

BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。

Agilent 7900 ICP-MS 是一款灵活的单四极杆电感耦合等离子体质谱仪，可提供出色的基质耐受性、有效的氦碰撞模式、超低的检测限和宽广的动态范围。

Agilent 8900 串联四极杆 ICP-MS (ICP-MS/MS) 是行业中应用广泛的串联电感耦合等离子体质谱仪。Agilent 8900 ICP-MS/MS 提供了一系列配置，适合从常规商业...

SPM，AFM，台阶仪，光学轮廓仪，激光干涉仪，桌面型SEM，激光共聚焦显微镜，表面粗糙度仪，小型硬度计，电子天平，硬盘制造装置，微操作机器人，等精密装置。

mini桌上型主动式隔振台全新设计，更易使用。

ICPMS-2030系列是以ICP为离子源的四极杆质谱仪，能够快速进行多元素分析，并且具有优异的灵敏度和检出限。

Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长， LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要...

AVI-200 WORKSTATION是一款紧凑型主动隔振系统.对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说，是理想的选择.AVI-200 WOKSTATION这款设备允许在一定的大小范围内增设额...

SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需...

SSB500系列步进投影光刻机主要应用于200mm/300mm集成电路封装领域，包括Flip Chip、Fan-In WLP、Fan-Out WLP和2.5D/3D等封装形式，可满足Bumping、R...

SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底光刻应用领域，满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。

SSB200系列投影光刻机采用投影光刻机平台技术，用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造，可应用于2.5代～6代的TFT显示屏量产线。该系列设备具备高分辨率、高套刻精度等特性，支持6英寸掩模，...