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SMEE 200系列光刻机—TFT曝光
- 品牌：上海品测
- 型号： SMEE 200
- 产地：嘉定区
- 供应商报价： 面议
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上海品测精密仪器有限公司
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企业性质一般经销商
入驻年限第2年
营业执照已审核
- 同类产品实验室常用设备(15件)
联系方式：彭先生 （经理）021-69899300
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- 详细介绍
产品介绍：
SMEE 200系列光刻机 —— TFT曝光
SSB200系列投影光刻机采用投影光刻机平台技术，用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造，可应用于2.5代～6代的TFT显示屏量产线。该系列设备具备高分辨率、高套刻精度等特性，支持6英寸掩模，显著降低用户使用成本。
产品特征
● 高精度，分辨率可达1.5μm
● 支持小Mask，可用6英寸掩模实现12英寸屏幕制造
● 具备智能化校准及诊断功能，方便设备参数校调及用户周期性维护
主要技术参数
型号
分辨率
套装精度
基板尺寸
SSB225/10
2μm L/S
0.6μm
370mm×470mm
500mm×500mm
SSB225/220
1.5μm L/S
0.5μm
370mm×470mm
500mm×500mm
SSB245/10
2μm L/S
0.6μm
730mm×920mm
SSB245/20
1.5μm L/S
0.5μm
730mm×920mm
SSB260/10T
2μm L/S
0.6μm
1300mm×1500mm
1500mm×1850mm
SSB260/20T
1.5μm L/S
0.5μm
1300mm×1500mm
1500mm×1850mm
- 产品优势
- SSB200系列投影光刻机采用投影光刻机平台技术，用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造，可应用于2.5代～6代的TFT显示屏量产线。该系列设备具备高分辨率、高套刻精度等特性，支持6英寸掩模，显著降低用户使用成本。
