-
-
SMEE 600系列光刻机 —— IC前道制造
- 品牌:上海品测
- 型号: SMEE 600
- 产地:嘉定区
- 供应商报价: 面议
- 上海品测精密仪器有限公司
-
企业性质一般经销商
入驻年限第2年
营业执照已审核
- 同类产品实验室常用设备(15件)
联系方式:彭先生 (经理)021-69899300
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
产品介绍:
SMEE 600系列光刻机 —— IC前道制造
SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及自减振六自由度工件台掩模台技术,可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。
主要技术参数
型号
SSA600/20
SSC600/10
SSB600/10
分辨率
90nm
110nm
280nm
曝光光源
ArF excimer laser
KrF excimer laser
i-line mercury lamp
镜头倍率
1:4
1:4
1:4
硅片尺寸
200mm或300mm
200mm或300mm
200mm或300mm
- 产品优势
- SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及自减振六自由度工件台掩模台技术,可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。