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准分子激光器: CL 5000
- 品牌:俄罗斯Optosystem
- 型号: :CL5000
- 产地:欧洲 俄罗斯
- 供应商报价:面议
- 深圳市科时达电子科技有限公司 更新时间:2024-09-14 06:18:53
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销售范围售全国
入驻年限第3年
营业执照已审核
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产品特点
- 准分子激光器: CL 5000 准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
详细介绍
准分子激光器: CL 5000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CL 5000系列技术参数:
激光介质
ArF
KrF
XeCl
波长 (nm)
193
248
308
ZD脉冲能量 (mJ)
20
40
25
ZD重复频频率(Hz)
CL 5100
CL 5200
CL 5300100
200
300ZD平均功率 (W)
CL 5100
CL 5200
CL 53002
4
54
8
102.5
5
7脉冲能量稳定度(sigma, %)
< 2
光斑尺寸 (VхH, mm)
12 х 3.5
12 х 4
光束发散角(FWHM, mrad, VхH)
2 х 1
脉冲持续时间 (FWHM, ns)
8 – 12
冷却方式
CL 5100
风冷
CL 5200/5300
水冷
重量 (kg)
80
尺寸 (LхWхH, mm)
780 х 330 х 583
电源
220 V, 50 Hz, < 1000 VA
可选功能和附件:
1000Kz型号可选
窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
F2,157nm型号可选
CL 5000系列主要特点:
陶瓷放电激光腔设计,长寿命
激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式预混合供气,使用简单
计算机控制