布鲁克的 Vision64 软件通过提供直观、简化的用户可视化界面，加入到 DektakXT 的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析，还是应用自定义筛选器设置和计算，DektakXT 的数据分析器都能显示当前分析结果，同时显示其他可能的分析工具。

DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针中的任何潜在风险。布鲁克提供广泛的探针尺寸和形状，几乎满足任何应用需求。

DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式，以可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。