探针式轮廓仪 Dektak XTL

Dektak XTL探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。

Dektak XTL探针式轮廓仪具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联 锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可最大限度地提高测试通量。

业界最佳自动化和分析软件

增强的软件功能使Dektak XTL探针式轮廓仪成为功能强大、最容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用 Vision64 软件，通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状，如曲率半径。Dektak XTL探针式轮廓仪的模式识别可最大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。

无与伦比的探针技术

Dektak XTL探针式轮廓仪以 50 多年的探针式轮廓仪的专业知识和生产设施的应用程序定制为基础，以满足当今和未来严格的行业路线图。300 毫米高精度编码 XY样品台为制造商提供了满足严格计量研发要求的可靠工具。Dektak 的双摄像头控制与高清放大双视场相机提供增强的空间感知。实时视频中的点击定位使操作员能够快速将样品移动到正确的位置，以便快速轻松地进行测量设置和自动化编程。该系统的大型联锁门为样品装载/卸载提供了安全、方便的访问。

其他硬件功能包括：

• 单拱形架构和集成振动隔离系统，实现行业领先的性能
  

• 快速更换自对齐探针

• 高精度编码 XY 样品台，实现更快的自动数据收集

• N-Lite 低力，采用软触控技术，具有 1mm 测量范围，可同时用于测量精密和高垂直范围样品。