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Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B
- 品牌：日本尼康
- 型号： NSR 1755i7B
- 产地：亚洲 日本
- 供应商报价：面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2025-05-06 11:28:39 -
销售范围售全国
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品日本Nikon 步进光刻机(10件)
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产品特点
- Nikon NSR 1755i7B 6英寸分步重复光刻机，可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圆高精度投影曝光，曝光精度可达500nm。
详细介绍
Nikon NSR 1755i7B 6英寸分步重复光刻机
技术指标及功能
把掩膜版上的图形按照一定的比例缩小复制到涂布有光刻胶的晶圆上，分区域进行步进式曝光。本机台可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圆高精度投影曝光，曝光精度可达500nm。
基本指标1. RESOLUTION：0.5μm
2. LENS DISTORTION：≤0.9μm
3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm
4. STEPPING ACCURACY：≤0.08μm
5. OVERLAY ACCURACY：≤0.15μm(X,Y)
6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm
沪公网安备 31011502008050号