TESCAN 场发射扫描电镜

TESCAN 场发射扫描电镜
TESCAN MIRA 场发射扫描电镜

TESCAN MIRA 是新推出的第四代高性能扫描电子显微镜，配置有高亮度肖特基场发射电子枪，在TESCAN 的 Essence™ 操作软件的同一个窗口中实现了 SEM 成像和实时元素分析。这种结合大大简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程，从而使得MIRA 成为质量控制、失效分析和实验室常规材料检测的有效分析解决方案。

突出特点

* 完全集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平台，可在 Essence™ 软件的同一个窗口中实现 SEM 成像和实时元素分析；

* TESCAN 独特的无光阑光路设计及实时电子束追踪技术(In-flight Beam Tracing™)，可快速获得良好的成像和分析条件；

* 独特的大视野光路（Wide Field Optics™）设计，可实现最小放大倍率低至2倍，因而无需额外的光学导航相机，即可轻松、精确的对样品进行导航；

* 标配的 SingleVac™ 模式，不导电样品或电子束敏感样品无需喷镀即可在此模式下直接进行观察；

* 直观的模块化 Essence™ 软件，无论用户的经验水平如何，均可轻松操作；

* Essence™ 3D 防碰撞模型，可确保样品台和样品移动时，安装在样品室内探测器的安全性；

* 可选配的镜筒内 SE 和 BSE 探测器，以及电子束减速技术，更好的提升了低电压下的成像性能；

* 标准分析平台，可选配集成最多种类的探测器和附件（如阴极荧光探测器，水冷背散射电子探测器等）。

适用领域

半导体和微电子：球栅阵列、硅通孔、引线焊接、微机电系统

材料科学：钢铁及合金、陶瓷及硬质涂层、玻璃、聚合物及复合材料、土木工程和建筑材料、木材，纺织品及纸张

生命科学：生物医学工程、细胞&组织形态学、微生物学、制药技术、植物和动物科学、亚细胞分析、环境和食品科学

地球科学：岩石学 & 矿物学、古生物学、矿物加工、废物回收