激光超声波接收器 美国IOS AIR-1550-TWM
双丝像质计 德国KOWOTEST ISO 19232双丝像质计 DUPLEX IQI-D13-D15
纳米显微CT柱状测试卡 德国QRM-MicroCT-Barpattern-NANO MicroCT测试模体
CARESTREAM HPX-1 PLUS CR系统
日本JIMA RT RC-04分辨率测试卡
NanoXSpot焦点测试仪用于对光斑尺寸 <100 µm 的 X 射线管进行质量保证,根据 prEN 12453-6、prEN 12453-7 评估焦点尺寸 <100 µm 和光斑形状
欧洲计量创新与研究计划项目开发了新的 NanoXSpot (NxS) 测量仪,具有线组、西门子星形和孔图,用于测量小至 100 纳米的聚焦光斑
计算机断层扫描 (CT)可以根据从物体周围不同角度拍摄的一系列 X 射线图像重建物体的体积数据集,这项技术被广泛用于医学中的患者诊断。此外,它还被用于航空航天和电子等行业的无损检测、缺陷与内部结构的评估以及产品尺寸的验证。这些行业对检测分辨力的要求小至纳米级。
X 射线管的质量保证 – 光斑尺寸和形状
一段时间后,可能会观察到 X 射线管(尤其是纳米和微焦管)目标的烧毁使用量,这可能导致光斑尺寸增加。一些管制造商允许管目标旋转。这允许改变目标上的焦点位置并提供不失真的焦点尺寸



NanoXSpot 测量仪 (NxS)
全新测量仪设计 NxS-1020 蕞终确定:
• 使用新开发的算法进行焦点测量和特性分析
• 全新焦点 CT 重建算法
样品支架设计便于测量仪使用
NxS 测量仪上的图案组(4 个象限):
• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 3-12 µm(Q1)
• 会聚线组图案(Q2 和 Q3)(类似于西门子星)
• 直径为 5 µm 至 1 mm 的孔图案(Q4)

重新设计的 NxS-1022b 仪表
样品架设计便于使用仪表
NxS 仪表上的图案组(4 个象限):
• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 4-20 µm(Q1)
• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 63 µm(Q2)
• 直径为 5 µm 至 1000 µm 的孔图案(Q3)
• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 25-50 µm(Q4)
外形尺寸:10 mm x 10 mm 芯片尺寸(带蓝宝石玻璃盖的支架:40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米)
材料
衬底:200 μm 厚硅
吸收器:8 μm 高的金
线宽/间距:公差:+/- 15%
图形线宽 [μm]:4 个象限,每个象限 4 mm x 4 mm;2 个经过改进的西门子星形,具有圆孔和 5 条平行金线,线宽和间距分别为 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小线宽:3 μm。最小孔径:5 μm
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