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NanoXSpot微焦点测试仪 德国Kowotest焦点测试仪

面议 (具体成交价以合同协议为准)
Kowotest NanoXSpot 欧洲 德国 2026-01-21 09:05:07
售全国 入驻:4年 等级:铜牌 营业执照已审核
同款产品:无损检测(85件)
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产品详情:

NanoXSpot焦点测试仪用于对光斑尺寸 <100 µm 的 X 射线管进行质量保证,根据 prEN 12453-6、prEN 12453-7 评估焦点尺寸 <100 µm 和光斑形状

欧洲计量创新与研究计划项目开发了新的 NanoXSpot (NxS) 测量仪,具有线组、西门子星形和孔图,用于测量小至 100 纳米的聚焦光斑

计算机断层扫描 (CT)可以根据从物体周围不同角度拍摄的一系列 X 射线图像重建物体的体积数据集,这项技术被广泛用于医学中的患者诊断。此外,它还被用于航空航天和电子等行业的无损检测、缺陷与内部结构的评估以及产品尺寸的验证。这些行业对检测分辨力的要求小至纳米级。


随着电子设备的小型化变得越来越普遍,以及随着新技术(如电动汽车)的出现和航空工业中轻质化合物的使用,对 5微米或更小分辨力(大约人类头发丝宽度的 1/10)的 CT 测量的需求日益增加。X 射线管的光斑尺寸直接影响到测量分辨力。但是,对于5微米以下的 X 射线管光斑尺寸,没有国际公认的标准或测量方法。X 射线设备制造商采用自有的测量方法导致了不一致的结果。因此,研究人员正在开发基于可溯源表征的测量仪来确定光斑大小、形状和位置的新方法,并将作为这些光斑测量的国际公认标准引入。
欧洲计量创新与研究计划(EMPIR)项目《对光斑小至100纳米的 X 射线管焦斑尺寸的测量 (NanoXSpot,18NRM07)》正在开发新的标准实践,以比目前更高的准确度水平表征 X 射线焦斑。
 

X 射线管的质量保证 – 光斑尺寸和形状
一段时间后,可能会观察到 X 射线管(尤其是纳米和微焦管)目标的烧毁使用量,这可能导致光斑尺寸增加。一些管制造商允许管目标旋转。这允许改变目标上的焦点位置并提供不失真的焦点尺寸

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NanoXSpot 测量仪 (NxS)


NanoXSpot 测量仪 (NxS)

 全新测量仪设计 NxS-1020 蕞终确定:

• 使用新开发的算法进行焦点测量和特性分析

• 全新焦点 CT 重建算法

 样品支架设计便于测量仪使用

 NxS 测量仪上的图案组(4 个象限):

• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 3-12 µm(Q1)

• 会聚线组图案(Q2 和 Q3)(类似于西门子星)

• 直径为 5 µm 至 1 mm 的孔图案(Q4)




NxS-1022b微焦点测试仪


重新设计的 NxS-1022b 仪表

 样品架设计便于使用仪表

 NxS 仪表上的图案组(4 个象限):

• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 4-20 µm(Q1)

• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 63 µm(Q2)

• 直径为 5 µm 至 1000 µm 的孔图案(Q3)

• 不同方向的线组图案结构,特征尺寸为 25-50 µm(Q4)


规格:

外形尺寸:10 mm x 10 mm 芯片尺寸(带蓝宝石玻璃盖的支架:40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米)

材料

衬底:200 μm 厚硅

吸收器:8 μm 高的金
线宽/间距:公差:+/- 15%
图形线宽 [μm]:4 个象限,每个象限 4 mm x 4 mm;2 个经过改进的西门子星形,具有圆孔和 5 条平行金线,线宽和间距分别为 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小线宽:3 μm。最小孔径:5 μm
 


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