日立 VC-100 喷碳仪

核心架构与参数

核心功能亮点

1. 低成本易操作：以普通自动铅笔芯为碳源，单根即用，无需复杂耗材制备，新手可快速上手，镀层重现性好。

2. 多用途适配：可实现纯碳蒸镀（提升不导电样品导电性，适配 EDS 分析）、碳支持膜 / 复型膜制备，还能通过缠绕 Pt 线完成 Pt/C 复合蒸镀，满足 TEM 样品阴影与特殊导电需求。

3. 稳定镀层质量：真空环境与可调蒸镀距离，确保碳膜均匀、致密，减少样品荷电效应与电子束损伤，保障电镜观察效果。

典型应用场景

• SEM 制样：非导电样品（如高分子、陶瓷、生物样品）表面蒸碳，消除荷电，保障高分辨成像与 EDS 元素分析准确性。

• TEM 制样：制备超薄碳支持膜、碳复型膜，以及样品的 Pt/C 阴影蒸镀，辅助 TEM 观察与结构分析。

• 材料表征：适配半导体、材料科学、生命科学等领域的常规制样需求，兼顾基础研发与教学应用。

操作与维护要点

1. 操作流程：放置样品→装碳源→抽真空→加热蒸镀→放气取样，全程步骤简洁，无需复杂参数调试。

2. 维护保养

• 定期清洁真空腔体与样品台，避免碳污染影响镀层质量。

• 检查 O 型圈密封性，及时更换老化密封圈，保障真空度稳定。

• 机械泵定期更换真空泵油，确保抽气效率。

3. 注意事项：蒸镀时控制加热时间与功率，避免碳源过度蒸发导致膜厚不均；对热敏样品，可适当降低加热功率或缩短蒸镀时间。