ET-R101FS型激光尘埃粒子计数器（在线）
品牌：etiedt奕泰净科
一、概述：
ET-R101FS型激光尘埃粒子计数器,是苏州奕泰环境科技有限公司在线监测系统的产品之一。检测最小粒径档可达0.1μm,可检测ISO7-ISO1的洁净环境,采样流量2.83L/min,专为半导体行业高精度洁净环境检测设计,突破传统精度局限，精准捕捉光刻胶挥发,设备磨损产生的亚微米污染颗粒,满足纳米制程对ISO1级洁净度的严苛要求。仪器具有检测精度高,人机界面友好,功能丰富,操作简单。
本产品可广泛应用于半导体、电子、光学、新能源、精密机械，化学、医药卫生、生物制品、航空航天，等部门。
二、特点：
◆304不锈钢壳体（可定制航空铝材）
◆5.0超大高清彩色触控屏，操作简单
◆最小检测粒径0.1μm，八通道
◆约500万条数据存储+USB数据导出+云端互联
◆支持SCADA/MES系统对接
◆ESD安全智能电源管理系统
◆ISO 14644-1洁净度等级报告自动生成
◆主动流量控制PID自动调节
◆防爆需求定制，防爆仅针对于外壳防爆，具体根据客户需求进行一对一定制。
三、性能：
◆采样流量：2.83L/min ±5% （0.1 CFM）
◆粒径分布误差；国优±20%FS
◆示值浓度误差；国优±20%FS
◆自净时间；国优≤8min
◆重复性相对误差；国优≤8%FS
◆采样浓度，35000颗/升
◆至少5，000，000条采样数据存储
四、应用：
半导体洁净厂房检测；
晶圆封装产品线监测；
光刻产线监测；
精密光学；
新能源；
航空航天；
五、技术参数：
| 采样流量 | 2.83L/min |
| 粒子粒径分档 | 八通道：0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.5μm, 1.0μm, 5.0μm |
| 激光光源 | 长寿命的激光二极管，寿命＞35,000小时 |
| 采样浓度 | 1000,000个/立方英尺 |
| 采样模式 | 连续采样+实时计数、间隔采样、累计计数 |
| 计数效率 | 50%@0.1μm；99.99%@＞0.15μm符合ISO21501-4 |
| 采样延时 | 用户自设定 |
| 采样间隔 | 用户自设定 |
| 通讯协议 | Modbus |
| 通讯方式 | RS485、Internet |
| 数据内存容量 | 约500万组测量数据，可查询，导出 |
| 屏幕显示 | 5.0彩色高清触摸屏 |
| 打印方式 | 在线款不支持 |
| 电 源 | DC12V（9-28VDC）输出功率不低于12V3A |
| 参考标准 | ISO 21501-4、GBT29024.4-2017、JJF1190-2008 |
| 数据通讯接口 | USB（直接导出或IOT在线监测系统查看），RS485、RJ45 |
| 环 境 | 使用环境：10∽40℃ 相对湿度 20∽95%RH |
| 储存环境：-20℃∽45℃ 相对湿度0∽95%RH | |
| 大气压力：86—106kPa | |
| 标准配件 | 等动力采样头，采样头软管，自净过滤器，使用说明书，原厂校准报告，合格证等 |
| 外形尺寸 | 宽220mm×高162mm×深130mm（不含采样口、警示灯） |
| 材 质 | 304不锈钢 |
| 重 量 | 2.8Kg |
六、etiedt奕泰净科：
苏州奕泰环境科技有限公司国产洁净环境检测仪器智能化创新应用专业前沿企业；
进口仪器国产化替代品牌新势力；
国内净化品牌服务商，净化优质服务商；
洁净微环境智能监测仪器全套解决方案专业企业
半导体洁净环境检测，奕泰净科E系列激光尘埃粒子计数器检测等级可满足十级至三十万级环境检测；
0.1微米远程尘埃粒子计数器在线监测系统；
0.1微米远程尘埃粒子计数器远程环境在线监测系统
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◆304不锈钢壳体（可定制航空铝材） ◆5.0超大高清彩色触控屏，操作简单 ◆最小检测粒径0.1μm，八通道 ◆约500万条数据存储+USB数据导出+云端互联 ◆支持SCADA/MES系统对接 ◆ESD安全智能电源管理系统 ◆ISO 14644-1洁净度等级报告自动生成 ◆主动流量控制PID自动调节 ◆防爆需求定制，防爆仅针对于外壳防爆，具体根据客户需求进行一对一定制。
◆不锈钢壳体，耐受洁净室常用消毒剂 ◆液晶显示风速、发雾量、发雾时间 ◆科检测≥100级的洁净区域 ◆操作简单，维护方便 ◆自动补排水，保持持久最佳水位 ◆远程、按键、旋钮多模式操作 ◆遥控启动调节风速、雾化量 ◆可选三脚架、推车、显影灯
·7英寸高清大屏，分辨率更高，响应更快，让用户直观读取洁净度数据 ·人机交互友好，操作简单直接，减少用户学习成本，提高用户体验 ·体积小巧，提携方便，可手持 ·流量实时监控，采用智能算法，实现流量实时负反馈自调节，检测结果更准确 ·20000组大容量数据存储，支持U盘一键导出PDF文件 ·支持400个房间点位预设功能，一键选择，快速采样 ·支持20位用户管理支持多级权限管理 ·支持审计追踪，日志管理，可查询、可追溯、可控制，符合FDA 21CFR PART11规范 ·校准提醒 ·10年长寿命进口半导体激光（需每年标定） ·大容量品质锂电池续航更久交直流两用 ·可拓展
◆316不锈钢壳体，耐受洁净室常用消毒剂 ◆10.1寸高清触控屏，操作简单 ◆房间名称中文命名，一键存储一键调取 ◆Android操作系统，中、英文界面 ◆单点粒子变化趋势图实时显示 ◆审计追踪功能，三级权限管理 ◆符合FDA 21 CFR Part 11 ◆电子记录、真·电子签名 ◆至少10，000，000条采样数据存储 ◆内置高效过滤，防止二次污染
前置式电子流量计、压力控制 外接气源双重过滤 内置HEPA(高效过滤器) 超压释放安全控制系统 内外气源转换 运行安静、噪声低 直观的用户控制模式 不锈钢材质
◆316L不锈钢壳体，耐受洁净室常用消毒剂 ◆7.0高清彩色触控屏，操作简单 ◆最小检测粒径0.1μm，八通道 ◆约100000条数据存储+USB数据导出+云端互联 ◆审计追踪、数据折线趋势分析图，柱状分析图 ◆支持SCADA/MES系统对接 ◆长续航内置锂电池、安全智能电源管理系统 ◆ISO 14644-1洁净度等级报告自动生成
工业级彩屏+设备指示灯+支持外接报警灯 数据多维度交互，PC物联网 内置专属定制隔膜气泵，流量稳定寿命长 内置超声波流量计实时监测流量 PID 流量调节算法，确保持久稳定 恒流 2.83L/MIN 采样 进口品质旋片泵寿命更长 标配 2*RS485+RJ45 网口通信 可配置 WIFI 或Lora或4G 通讯 预留支持外接温湿度、露点、风速等传感器 可内置 SD 卡
Eti7501-01E远程粒子计数器是苏州奕泰环境科技有限公司生产的一款新款高精度在线粒子计数器 仪器特点： 1、SUS304不锈钢外壳 2、长寿命采样泵 3、RS485拓展接口 4、RJ45拓展接口 5、流量协议控制 6、高精度激光光源 7、低噪音 8、高性价比
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沪公网安备 31011502008050号