雷尼绍 inLux™ SEM-拉曼联用接口

雷尼绍 inLux™ SEM - 拉曼联用接口是一款通用型原位联用方案，核心是SEM 与拉曼共点同步分析 + 无损原位 + 50 nm 高精度定位 + 多光谱拓展（PL/CL）+ 适配主流 SEM 无需改装，主打在 SEM 腔体内实现形貌（SEM）与化学结构（拉曼）的关联表征，适配材料 / 半导体 / 催化 / 生物等领域的微区原位研究，无需转移样品即可获取结构 - 化学双维度数据。

核心优势与技术亮点

1. 形貌 - 化学原位关联（核心）

• 样品无需移动，在 SEM 腔体内同步获取高分辨率形貌像（SEM）与化学指纹（拉曼），解决传统分机测试的定位偏差问题，适配催化反应、薄膜失效等原位动态过程研究。

• 可叠加 PL/CL 分析，进一步补充半导体 / 光电材料的电子 - 光学特性信息，深化样品表征维度。

2. 通用无损与高兼容性

• 适配各SEM，无需改装腔体 / 光路，探头可快速缩回，不影响 SEM 的 EDX、EBSD 等原有功能与工作流，改装与维护成本低。

• 非接触无损分析，不破坏样品，适配粉末、薄膜、复合材料、生物样品等多种类型，无需复杂制样。

3. 高精度与灵活成像

• 50 nm 定位精度保障微区拉曼成像的准确性，可完成大体积样品的宏观导航与微区精准分析的结合。

• 支持单点 / 多点光谱采集、2D 面扫描与 3D 深度成像，满足从成分定性到分布定量的多样化研究需求。

4. 便捷自动化控制

• WiRE 软件统一控制 SEM 与拉曼联用系统，支持预设分析模板，一键完成定位 - 采集 - 关联 - 报告流程，降低联用操作门槛。

  
  

典型应用场景

与传统 SEM - 拉曼联用的差异