共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2 基本介绍

在微观形貌测量领域，三维轮廓仪是一种常见的工具。Sensofar公司推出的经济型三维共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2，集成了共聚焦和白光干涉两种测量技术，旨在为工业检测和研发分析提供一种表面测量的选择。

该设备的核心特点是技术集成。它将共聚焦显微镜的层析能力和白光干涉仪（也称白光垂直扫描干涉，VSI）的快速、大范围测量能力结合在一个系统中。用户可以根据样品表面的特性，选择更适合的测量模式。例如，对于粗糙度较高、斜率变化较大的表面，共聚焦模式可能提供较好的测量结果；而对于光滑、连续、有微小台阶的表面，白光干涉模式可能更有效率。

S lynx2的整体结构设计考虑了紧凑性和功能性。设备集成了光学系统、电动载物台和控制器。用户界面设计得较为简洁，从样品放置到开始测量，操作流程的步骤较为清晰。软件将光学控制、扫描设置、图像采集、三维重建和数据分析等功能整合在一个工作环境中，便于操作。

在测量能力方面，设备能够获取样品表面的三维形貌数据。通过垂直扫描样品，它可以在非接触的情况下，得到表面每个点的X、Y、Z坐标信息。基于这些数据，不仅可以观察表面的三维形貌图像，还可以进行多种几何参数的定量分析，如高度、宽度、体积、表面积、粗糙度、台阶高度等。

对于多样化的样品，S lynx2提供了一定的适应性。它可以配置不同放大倍率和数值孔径的物镜，以适应从大范围整体观察到高倍率精细测量的需求。设备通常配备了自动物镜转盘，便于在不同倍率物镜间快速切换，提高测量流程的效率。

在数据处理和报告生成方面，软件提供了常用的分析工具包。用户可以执行二维和三维的几何测量，进行表面纹理和粗糙度分析，并按照ISO等国际标准计算相关参数。测量数据和三维图像可以保存为多种通用格式，方便后续处理或导入其他软件。软件也支持生成结构化的测量报告，以便于存档和分享。

考虑到工业环境的应用，设备的机械稳定性和可重复性是一些用户关注的方面。S lynx2在设计中注重了结构的稳固性，旨在减少环境振动对测量结果的潜在影响。软件中的自动对焦、多点自动测量等功能，也有助于提升批量检测时的可重复性和效率。

总而言之，共聚焦白光干涉轮廓仪S lynx2作为一款经济型集成化测量设备，其设计初衷是为那些需要在实验室或生产现场对样品表面进行三维形貌观测和量化分析的用户，提供一个具有多种测量模式选择的工具。它适用于半导体、微电子、精密加工、材料科学等多个领域的表面质量检测与研发分析工作。