日本JIMA RT RC-04分辨率测试卡 采用新的半导体光刻技术制作的显微图

日本JIMA RT RC-04分辨率测试卡产品简介：

日本检验仪器制造商协会的 JIMA 分辨率测试图 JIMA RT RC-04 是采用新的半导体光刻技术制作的显微图。

它用于校准和监控系统分辨率，并确保您的微焦点或纳米分辨率 X 射线检测系统的高质量结果。

JIMA RT RC-04 支持 0.1 微米到 10 微米之间的分辨率。这对应于 0.2 微米和 20 微米之间的焦点尺寸。

日本JIMA RT RC-04分辨率测试卡应用：

修复 X 射线系统操纵器上的分辨率测试。选择探测器、样品和试管的距离，以实现高几何放大倍率。选择所需的 X 射线参数。

将分辨率测试放置在管子的前面，使线条图案清晰可见。使用操纵器移动测试图，以便可以看到距离更短的下一行。只要清楚地解决了单独的行，就继续。焦点大小近似计算为小分辨率乘以 2。

注意：尽量减少辐射的持续时间。在手术过程中关闭 X 射线。目标前面的热量可能会损坏测试图。

日本JIMA RT RC-04分辨率测试卡技术参数：

线和空间大小：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.35, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0 ,4.0 ,5.0 ,6.0, 7.0, 8.0, 9.0,10.0 µm(行与空等宽)

每条狭缝由8条线组成，T型布局

吸收材料：钨，厚度>= 650nm

保护膜：PET-film 25 μm(包括粘合层)

硅基：15 µm +/- 1 µm(厚度)

外壳尺寸：40 x 30 x 5 毫米(宽 x 高 x 深)

芯片尺寸：5 x 5 x 0.06 毫米(宽 x 高 x 深)

图案精度：公差：+/- 10%

工作温度范围：10°C 至 70°C

提供带测试报告的空气悬挂箱.