台阶仪JS2000B的MEMS检测

微机电系统（MEMS）器件的性能与可靠性高度依赖于其微结构的尺寸精度。全自动台阶仪JS2000B可用于测量MEMS器件中悬臂梁、空腔、流道等微结构的深度、台阶高度及侧壁角度。

自动化测量程序允许对同一器件的多个特征结构进行快速测量，评估制造工艺的一致性。对于需要释放或键合的结构，其台阶高度是衡量工艺成功与否的关键参数。该设备提供的数据有助于监控关键工艺步骤，支持MEMS器件的研发与质量控制。