面阵激光光束分析仪

除了激光功率/ 能量外，激光在传输方向横截面的强度分布以及激光的传输特性，也是激光器应用中决定性的因素：绝大多数应用需要根据激光的传输特性（M2）来设计光路；定量科学实验和高品质激光加工都需要实际测量激光焦点的分布。同时，很多激光器在使用中，泵浦源或光学器件衰减首先体现在激光光斑的变化上，定期测试激光光斑有助于提前发现衰减倾向，及早维护，降低维护成本、缩短停机时间，预防激光器性能突变导致产线灾害。

激光的截面强度分布的测量（光斑分析）通常采用光束分析仪，而传输特性通常用M2 表征，由M2 测试仪按照ISO 标准进行测量。

Spiricon 公司是业内久负盛名的激光光束分析仪和M2 生产厂家，自上世纪七十年代末开始研发提供激光光束品质分析仪，并参与制定了光斑测量的ISO11146-3 标准。产品种类覆盖CCD 相机式光束分析仪、InGaAs 面阵相机光束分析仪、热释电晶体面阵光束分析仪、狭缝扫描式光束分析仪、全自动M2 测量仪、高功率激光聚焦测试仪等，波长覆盖13nm ~ 3000μm，广泛应用于激光器制造、激光精密加工、光通讯、太赫兹、激光科学研究等领域。Spiricon 公司2006 年加入OPHIR 集团，使后者成为激光测量全系解决方案的供应商。

面阵式激光光束分析仪

相机式光束分析仪采用二维阵列光电传感器，直接将辐照在传感器上的光斑分布转换成图像，传输至电脑并进行分析。相机式光斑分析仪是目前使用*多的光斑分析仪，可以测试连续激光、脉冲激光、单个脉冲激光，可实时监控激光光斑的变化。

完整的光束分析系统由三部分构成：

· 相机。

相机确定了可测量的波长范围：硅基CCD 相机通常为190nm ~ 1100nm；InGaAs 面阵相机通常为900 ~ 1700nm；热释电面阵相机则可覆盖13 ~ 355nm 及1.06 ~ 3000μm。相机的芯片尺寸决定了能够测量的光斑的*大尺寸，而像素尺寸则决定了能够测量的*小光斑尺寸；通常需要10 个像素体现一个光斑完整的信息。

· 光束分析软件。

软件除了采集数据并按照各种数学模型进行分析计算外，更为重要的是确保光束分析计量的准确性。Spricon 公司采用Ultra CALTM 技术扣除相机的起伏背景，确保在各种强度下得到的光斑都具备定量准确性；丰富的光斑识别、手动及自动选区功能，避免光斑品质计算中引入过大误差甚至出现伪结果：例如对多模（多瓣）光束的自动分析。

· 附件。

几乎所有的激光器的强度都超过相机的饱和强度甚至损伤阈值，高品质的衰减附件可确保在保持光束品质的情况下衰减强度；扩束、缩束、放大、投影成像等高品质成像系统使得尺寸一定的传感器可以适应不同的光斑。

硅基CCD 相机
主要特点

· 相应灵敏度高

· 不同感光面尺寸可供选择

· USB2.0/USB3.0/ Gigbit Ethernet 三种接口方式

· C-Mount 接口，可选择衰减片、分光片等多种附件

主要应用领域

· 半导体/ 光纤等激光器光斑分析

· 激光加工设备

· 生物医疗激光分析等