Ixion-193-SLM为全固化单频激光器，其线宽达到变换极限，可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
Ixion-193-SLM激光器共同的特点：
- 使用超级简便：用户只需在图形化的软件界面上即可完成操作
- 可适应7天24小时工业化应用
- 窄线宽，长相干长度
- 标准输出193.368nm，下单前可提前定制190-195nm范围间任意波长值。
- 波长在10pm(80GHz)范围内可调谐
- 可增配内置波长计监测波长调谐的绝对值
产品规格
| 型号 | IXION-193-SLM | IXION-193-SLM-50 | IXION-193-SLM-LC |
| 分类 | 标准款 | 更高功率款 | 更窄线宽款 |
| 平均功率 | 10 mW | 50 mW | 3 mW |
| 脉冲宽度 | 8-10 ns | 6-8 ns | 12-14 ns |
| 脉冲能量 | 1.6μJ | 8.3μJ | 0.5μJ |
| 重复频率 | 6 kHz | 6 kHz | 6 kHz |
| M² | <1.4 | <1.4 | <1.4 |
| 光谱线宽 | <80 MHz | <100 MHz | <60 MHz |
| 相干长度 | >2m | >1.5m | >2.5m |
| 波长可调谐范围 | >80 GHz⇔10 pm | >80 GHz⇔10 pm | >80 GHz⇔10 pm |
应用举例：
光谱仪校准：
Ixion-193-SLM标准款就已经很适合做193nm深紫外频段高分辨率光谱仪校准，下图为校准德国LTB高分辨率中阶梯光栅光谱仪的实测图
深紫外光刻：
Ixion-193-SLM-50的输出功率可达50mW, 可用于科研级别小尺度深紫外光刻;其光谱线宽<100MHz, 可有效降低深紫外光刻系统的色差导致的位置偏差，特别适合于浸没型高分辨率光刻，以及多次曝光套刻。
准分子激光器的种子注入：
用于产业级别高精细度半导体光刻制程时， Ixion-193-SLM可用于大功率准分子激光器的种子注入源，将自身的超窄线宽和超高功率稳定性传递给大功率准分子激光器，提升半导体光刻制程分辨率与良品率。
深紫外干涉与计量：
Ixion-193-SLM以其1.5-2.5m的长相干长度，很适合搭建193nm干涉系统和全息系统；193nm深紫外激光架构比266nm激光架构用于无图型半导体晶圆缺陷检测仪能做到更细微的缺陷监测极限；用于膜厚检测也可做到更精细的膜厚检测极限；可用于掩膜对准步进光学系统的校准。总之，Ixion-193-SLM可做为超精细半导体制程光刻系统或器件的研究与优化应用的光源。
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Mightex的相机产品线以其高性能、紧凑设计和易用性著称，能够无缝集成到各种复杂的系统中。其相机主要分为CMOS相机和CCD相机两大类，旨在满足从日常机器视觉到高灵敏度科研成像的广泛需求。
USB2.0 B系列带帧缓冲相机主要特点：内置大容量帧缓存，确保图像数据传输稳定；支持多相机同步
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胶体量子点相机可以同时涵盖原本一台常规硅基加一台InGaAs材料的CCD/CMOS相机才能覆盖的光谱响应范围。
近红外InGaAs 相机主要特点：量子效率高，暗电流小，灵敏度高，曝光时间范围宽。
硅材料CCD 相机的长波截止波长为1100nm （对于较强的光可响应至1300nm）。通过在芯片表面镀上转换磷光材料，能够探测光通讯广泛使用的1550nm 左右激光。
营业执照已审核
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