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布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-200:在表面形貌分析中提供一种测量方式
白光干涉仪是一种广泛应用于表面形貌测量的光学仪器。视芯光学T100作为一款国产白光干涉仪,利用宽光谱白光光源的短相干特性,通过扫描获取样品表面每个点的干涉信号,从而重建出完整的三维形貌图像。相较于单色光干涉,白光干涉的零级条纹清晰明确,有利于确定绝对高度位置,在测量具有较大起伏或不连续台阶的表面时表现出一定特点。
T100系统在硬件上注重光学组件的稳定性和环境抗干扰能力。其内置的隔振设计有助于减少外部微小震动对测量结果的影响,而温控模块则努力维持系统内部的热稳定性。这些设计旨在保证在常规实验室或接近产线的环境中,也能获得重复性较好的测量数据。仪器通常配备多种倍率的物镜,用户可以根据测量视场和分辨率的要求进行切换,实现从毫米到微米尺度的跨尺度观测。
在实际应用中,T100能够应对多种材料的表面测量,包括金属、陶瓷、玻璃、聚合物以及硅片等。它不要求样品表面必须具有高反射率,对于部分漫反射表面也能进行有效测量。软件算法能够处理干涉图样,自动识别并排除灰尘、杂散光等因素造成的干扰,提取出有效的表面信息。除了三维形貌图,系统还能生成二维轮廓线、截面分析、自动标注尺寸等多种结果报告格式。
对于产品质量控制而言,T100可以用于线上或线下的抽检与全检,快速判断工件是否符合图纸规定的形貌与尺寸公差。在研发过程中,它则为材料工程师提供了观察表面微观结构形成与演变的有力工具。视芯光学T100作为国内自主研发的设备,在售后响应、应用支持和定制化开发方面,可能与本地用户有更直接的沟通渠道,有助于解决特定场景下的应用问题。
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