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仪器/ 产品中心/ 电子电工仪表/ 流量仪表/ 质量流量计/ Horiba SEC-Z514、SEC-Z524数字式质量流量控制器
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Horiba SEC-Z514、SEC-Z524数字式质量流量控制器

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Horiba SEC-Z514、SEC-Z524数字式质量流量控制器 核心参数
测量范围: 0-3SLM 准确度: 1%
介质温度: 常温 工作压力: 低于1MPa
管径范围: 1/4
详细介绍

Horiba Z514Z524数字式质量流量控制器

畅销型号: SEC-Z514MGXSEC-Z524MGM

可选低成本数字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N122MGMSEC-N132MGMSEC-N142MGM

可选低成本模拟型:SEC-E40SEC-E50SEC-E60SEC-E40MK3            

SEC-Z514MXSEC-Z524MGM属于SEC-500X系列,多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器
高性能高端数字式质量流量控制器

主要特性
1)
多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2)
超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3)
快速响应:< 1 (全量程范围内,任意设置点);
4)
非常方便的现场设置操作;
5)
多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以最大限度地减少库存;
6)
与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7)
模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)

 SUS 316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封)PTFE(聚四氟乙烯),磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)

满量程流量
SEC-Z512KX: 1/2sccm
SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
SEC-Z532KVX: 100slpm
SEC-Z542KVX: 200slpm

特点

   质量稳定性

HORIBA STEC. 工业领xian商优质的稳定性

HORIBA STEC 是一个全世界设备制造商的欢呼品牌,其中一个体现就是HORIBA STEC不断供应高质量,高稳定性产品来满足高规格的标准。

   可靠供应

HORIBA STEC 通过三个主要基地为客户迅速可靠供应设备:

Kyoto,作为HORIBA STEC的总部;

AsoHORIBA集团的主要制造工厂,以生产zuixin设备为特色;

以及两个位于美国(CATX)基地,作为超快供应商。

   全球支持

全球网络机构值得信赖的支持系统

通过全世界的网络分支机构,HORIBA STEC的技术工程师为所有HORIBA STEC产品提供完全支持。

 RoHS 标准

符合所有RoHS 规定

 

规格-数字-模拟转换模式

型号*1

SEC-Z512Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全标准流量
    (N2
转换流量)

1/2SCCM


    10SCCM-10SLPM
   
   

10-50SLM

阀门类型

O: 通常打开 C: 通常关闭

完全关闭控制阀时的流量

≤ 2% F.S.

流量测量范围

0-100% of F.S.

精确性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作温度

5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)

响应

≤ 1 :超过全流量范围

直线性

≤ ±0.5% F.S.

反复性

≤ ±0.2% F.S.

工作压差值

≤ 300 kPa (d)

最大工作压力

450 kPa (g)

耐压

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量设定信号

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高

流量输出信号

0 -5 V DC (0% - F.S.); 最小负荷阻力 2 kΩ 或更高

数字界面

地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)

F-Net 协议,DevceNet

接液部材质

316L 不锈钢(表面抛光)

电源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信号反应

模拟: D-Sub 9-pin (TOP)

数字: 2 LAN jacks (TOP)

标准接头*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可选1.125 inch IGS

安装方向

自由


*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
  *2
流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
  *3IGS:
完整气体系统
  *SCCM
SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

 

 

本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器

 

 

 

 

 

 


产品优势
Horiba Z514、Z524数字式质量流量控制器

畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。
可选低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
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