易度智能SC100标准型气体质量流量控制器流量计MFC
易度智能S200高精型高精度气体质量流量控制器流量计
微小气体质量流量控制器
MC 气体标准质量流量控制器
易度智能MC100标准型气体层流质量流量计质量流量控制器
Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器
硅烷、氨气，腐蚀气体
畅销型号：SEC-E440J，NH3，7SLM；SEC-E440J，SiH4，500sccm
产品概述
本产品为日本原装，金属密封，专用于如硅烷、氨气、SF6等腐蚀性气体的应用。
产品已经停产，替代品为N100系列。
SEC-E440J金属密封质量流量计，主要应用于太阳能PECVD设备中，又称氨气流量计，硅烷流量计。
产品特点
电磁控制阀金属密封质量流量控制器 可用于腐蚀性干燥气体
金属密封;
电磁控制阀;
可优化响应时间;
自动归零功能;
集成报警功能;
阀电压检测功能;
电磁控制阀可完全关闭;
产品主要参
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢，PTFE(聚四氟乙烯)
精度：<±1.0% F.S.
线性度：<± 0.5% F.S.
重复性：<± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ 100% F.S.
响应速度：< 1秒
满量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm
报价：￥24500
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美国AALBORG GFC17质量流量控制器 畅销型号：GFC17AV，GFC17S，GFC37，GFC57，GFC67，AFC17，DFC26 美国AALBORG质量流量控制器 GFC系列热式气体质量流量控制器可以控制气体的流量, 美国AALBORG质量流量控制器是一种经济型质量流量控制器，AALBORG质量流量控制器有铝和不锈钢两种材料, ALBORG质量流量控制器可选现场显示仪表. 设计特点 －刚性金属结构 －流程范围从0 开始到10 sccm 直到0到1000 slpm －zuida压力500 psig (34.5Bar) －泄漏率1 x 10-7 氦气 －NIST系统标定可追踪的证明 －可倾斜的LCD 读表 －0-5 Vdc 或4-20 个mA 信号输出 －电路保护 －现场和远程控制 －0 到1**%比例显示 －可配备流量计算机
营业执照已审核
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沪公网安备 31011502008050号