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Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器
- 品牌：美国德威尔
- 型号： SEC-E440J
- 产地：日本
- 供应商报价： ¥ 11000
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上海进申工贸有限公司
更新时间：2020-08-11 10:00:07 -
企业性质授权代理商
入驻年限第8年
营业执照已审核
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- 标签： Horiba流量计，SEC-E440J，氨气流量计，硅烷流量计
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- Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器 核心参数
- 详细介绍
Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器
硅烷、氨气，腐蚀气体
畅销型号：SEC-E440J，NH3，7SLM；SEC-E440J，SiH4，500sccm
产品概述
本产品为日本原装，金属密封，专用于如硅烷、氨气、SF6等腐蚀性气体的应用。
产品已经停产，替代品为N100系列。
SEC-E440J金属密封质量流量计，主要应用于太阳能PECVD设备中，又称氨气流量计，硅烷流量计。
产品特点
电磁控制阀金属密封质量流量控制器 可用于腐蚀性干燥气体
金属密封;
电磁控制阀;
可优化响应时间;
自动归零功能;
集成报警功能;
阀电压检测功能;
电磁控制阀可完全关闭;
产品主要参
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢，PTFE(聚四氟乙烯)
精度：<±1.0% F.S.
线性度：<± 0.5% F.S.
重复性：<± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ 100% F.S.
响应速度：< 1秒
满量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm- 产品优势
- Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器
硅烷、氨气，腐蚀气体
畅销型号：SEC-E440J，NH3，7SLM；SEC-E440J，SiH4，500sccm
产品概述
本产品为日本原装，金属密封，专用于如硅烷、氨气、SF6等腐蚀性气体的应用。
产品已经停产，替代品为N100系列。 - 相关产品
| 测量范围: | 0-100sccm | 准确度: | 1% |
| 介质温度: | 常温 | 工作压力: | 低于1MPa |
| 管径范围: | 1/4 |
