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DLP/DMD光刻照明光源
- 品牌：昊量/auniontech
- 型号： DLP/DMD
- 产地：上海 徐汇区
- 供应商报价：面议
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上海昊量光电设备有限公司
更新时间：2025-04-27 13:46:07 -
销售范围售全国
入驻年限第10年
营业执照已审核
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产品特点
- 专为DLP9000或DLP9500等投影芯片应用的光刻解决方案的照明光源
详细介绍
DLP/DMD光刻照明光源
昊量光电新推出LumiDLP光刻照明光源通过大面积提供高度均匀的通量密度为紫外DLP应用提供前所未有的速度和分辨率。模块化设备结合了密集封装的UV-LED阵列成为一种高效、非成像采集光学设备，集成了远心成像光学优化DLP芯片组。
这款DMD光刻光源为基于DLP技术的具有挑战性的曝光应用提供出色的UV-LED照明。特别是要求蕞高强度和多波长光谱的设置非常适合。数值孔径为0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均匀性、这些构成DLP-芯片曝光的完 美解决方案。
DLP/DMD照明器提供高达30W的光辐射功率。单波长和多波长设置可供选择（365nm、385nm、395nm、405nm）。这款DLP/DMD光刻照明光源提供的辐射功率与汞放电灯相当、但具有LED技术的寿命和总成本优势。此外、DLP/DMD光刻照明光源还可以很好地替代基于单色激光二极管（例如、LD405nm）的照明器。
LumiDLP光刻照明光源是专为DLP9000和DLP9500芯片设计的、可以轻松集成到基于DMD的系统中。
DLP/DMD光刻照明光源产品亮点：
专为DLP®9000和DLP®9500设计
包括高性能LED驱动器、便于控制和编程
高强度性能能够缩短/减少处理时间
由于频谱宽广、可以使用多种类型的抗蚀剂
不会过时的无汞光源
DLP/DMD光刻照明光源产品规格：
辐射输出功率 DLP9500蕞高30W
DLP7000蕞高20W
波长配置 365nm、385nm、395nm、405nm
Single and multi-wavelength setups available
光出口角 ±12°
匹配DLP微镜倾斜角度
照明均匀性和DMD芯片溢位 >90%均匀性
>10%溢位
热管理 液体冷却设置
快速连接、无泄漏耦合
所需入口温度≤25℃ <25°
使用寿命 >3000h
模块化、易于更换系统、蕞大限度减少停机时间
LED-驱动器 每个通道0-3A、每个LED阵列18个通道
恒流、可调光、脉宽调制
外部接口 USB 2.0
10/100Mbps以太网
RS-232 (TIA-232-F)
程序 串行（USB）和远程登录（以太网）通信命令集 尺寸和重量 照明器：27.5cm×8cm×8.5cm
驱动器：23cm×29cm×4.5cm
重量 照明器：~1.5kg
驱动器：~2kg
技术文章
沪公网安备 31011502008050号