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UNIPOL-1203化学机械磨抛机
- 品牌：沈阳科晶
- 型号： UNIPOL-1203
- 产地：沈阳
- 供应商报价： 面议
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沈阳科晶自动化设备有限公司
更新时间：2024-04-26 08:08:29 -
企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
- 同类产品化学机械磨抛机(1件)
- 标签： 化学机械磨抛机，磨抛机，研磨抛光
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- 详细介绍
UNIPOL-1203化学机械磨抛机，适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。 
1、超平不锈钢抛光盘（平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm）。
2、超精旋转轴（托盘端跳小于0.01mm）。
3、设有两个加工工位，可分别进行控制。
4、配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
5、配置自动滴料器，流量速率可视化调整，自动研磨和抛光。
6、配置GPC-100A精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。
产品名称
UNIPOL-1203化学机械磨抛机
产品型号
UNIPOL-1203
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及排水
2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
3、气：无
4、工作台：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通风装置：不需要
主要参数
主机部分
1、电源:220V
2、功率:450W
3、磨抛盘转速:10-240rpm
4、磨抛工位:2个
5、摆臂调节档位:1-15档
6、托盘端跳:0.008/250mm
7、不锈钢磨抛盘:φ300mm
8、载样盘:φ105mm
9、修盘环:φ127.5mm
GPC-100A精密磨抛控制仪
1、载样盘直径：Ø103mm
2、载样盘轴向行程：12mm
3、数显表精度：0.001mm
4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg
5、压力确认仪有效量程：1g-5000g
6、样品装卡方式：真空吸附
7、承载样件尺寸：直径≤103mm、 厚度≤12mm
8、尺寸：外径146mm，高266mm
自动滴料器
SKZD-2滚筒滴料器
1、容积：1.5L
2、流量：0-35ml/min
3、尺寸：170×290×350mm；
重量：3kg
SKZD-4自动滴料器
1、加液泵：4个
2、料液瓶：600ml/瓶
3、计时范围：1-999min
4、流量：0.1ml/min-10ml/min
5、尺寸：230×370×450mm；
重量：10kg
产品规格
1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg
序号 名称 数量 图片链接 1 铸铁磨盘（Ф300mm花盘）
1个 
2 不锈钢磨盘（Ф300mm平盘）
1个 
3 载物盘（陶瓷） 1个 
4 修盘环（陶瓷）1个 
5 抛光垫
（磨砂革、合成革、聚氨酯）
各1片
6 磁力片（带背胶）
2片
7 研抛底片
2片
8 刚玉研磨微粉
0.5kg
9 石蜡棒
4根
10 二氧化硅悬浮抛光液 2040 W0.05
1瓶 
序号
名称
功能类别
图片链接
1 YJXZ-12搅拌循环泵
（可选）
2 精密测厚仪
（可选）
3 陶瓷研磨盘
（可选）
4 玻璃研磨盘
（可选）
5 磁性树脂金刚石研磨片
（可选）
- 产品优势
- 1、超平不锈钢抛光盘（平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm）。
2、超精旋转轴（托盘端跳小于0.01mm）。
3、设有两个加工工位，可分别进行控制。
4、配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
5、配置自动滴料器，流量速率可视化调整，自动研磨和抛光。
6、配置GPC-100A精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。
