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中频电源表面清洗离子清洗机
- 品牌:郑州科探仪器
- 型号: KT-S2DQX-C
- 产地:河南 郑州
- 供应商报价:¥43800
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郑州科探仪器设备有限公司
更新时间:2024-08-08 16:25:57
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销售范围售全国
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 中频电源表面清洗离子清洗机 核心参数
产品特点
- 中频电源表面清洗离子清洗机,在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的。
详细介绍
plasma离子清洗机射频电源,
等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。
plasma离子清洗机射频电源
供电电源
AC220V(AC110V可选)
工作电流
整机工作电流不大于3.5安(不含真空泵)
射频电源功率
150W
射频频率
13.56MHz
频率偏移量
<0.2MHz
特性阻抗
50欧姆,手动匹配
耦合方式
电容耦合
真空度
≤50Pa
腔体材质
高纯石英
腔体容积
2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径
Φ50
气体流量
0—50ml/min(其他量程可选)
过程控制
过程手动控制
清洗时间
手动开关
开盖方式
铰链侧开式法兰
外形尺寸
450x450x360mm
重量
23Kg
真空室温度
小于65°C
冷却方式
强制风冷
标配
KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。
样品腔尺寸 | 内径110MMX深度220MM | 样品腔容积 | 2L |
射频功率 | 150W | 频率 | 13.56MHz |