200 mm × 200 mm 座标台 搭载可变照明单元

型号

IM-8010

类型

测量头

拍摄元件

1" 2000万像素 黑白CMOS

显示器

12.1" LCD显示器（WXGA：1280×800）

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式

200 mm×200 mm（4角R50）

高精度测量模式

125 mm×125 mm

最小显示单位

0.1 μm

重复精度

广视野测量模式

座标台未移动

±1 μm

座标台移动

±2 μm

高精度测量模式

座标台未移动

±0.5 μm

座标台移动

±1.5 μm

测量精度 ±2σ

广视野测量模式

无连接

±3.9 μm ^*1

有连接

± (7+0.02L) μm ^*2

高精度测量模式

无连接

±2 μm ^*3

有连接

± (4+0.02L) μm ^*4

外径测量

测量精度

广视野测量模式

± (2.8+0.02D) μm ^*5

高精度测量模式

± (1.4+0.04D) μm ^*6

外部遥控输入

无电压输入 （有接点/无接点）

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS输出
额定负载 24 VDC 0.5 A
ON电阻 50 mΩ或更小

外部照明控制

光量控制

PWM控制 100 kHz

输出电压

12 VDC

输出电流

ZD1.6 A

接口

LAN

RJ-45（10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T）

USB 3.1

4个端口（后面4个）

USB 2.0 系列 A

4个端口（前面2个、后面2个）

显示器输出

DVI-D

存储

硬盘驱动器

500GB

照明系统

透过

远心透过照明

落射

4分割多视角照明（电动）
缝隙环（定向性）照明（电动）

XY 座标台

移动范围

100mm×100mm（电动）

承受负重

5 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm (电动)

电源

电源电压

交流100～240V ±10％ 50/60 Hz

消耗功率

ZD430 VA

环境抗耐性

环境温度

+10～35 ℃ ^*7

相对湿度

20～80％ RH（无冷凝）

过电压类别

Ⅱ

污染等级

2

重量

约30 kg

^*1 直径80 mm 的范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃时。
^*2 180 mm×180 mm （4 角R40）范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃，平台承载重量是2 kg 以下时。L 是平台的移动量(mm)
^*3 直径20 mm 的范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃时。
^*4 120 mm×120 mm 的范围内，焦点位置的工作环境温度是+23±1 ℃，平台承载重量是2 kg 以下时。L 是平台的移动量(mm)
^*5 L118 mm×φ60 mm 的范围。在对焦状态下，把测量对象放到镜头视野中心，测量对象的轴方向朝向镜头视野水平方向时。工作环境温度是＋ 23±1 ℃，D 是Y 方向距离（mm）
^*6 L106 mm×φ20 mm 的范围。在对焦状态下，把测量对象放到镜头视野中心，测量对象的轴方向朝向镜头视野水平方向时。工作环境温度是＋ 23±1 ℃，D 是Y 方向距离（mm）
^*7 XY 平台移动速度80 mm/s 时，是＋ 15 ～ 35 ℃