300 mm × 200 mm 座标台 搭载可变照明及光照探针单元, 采用宽型座标台, 接触式高度测量单元

型号

IM-8030T

类型

测量头

拍摄元件

1 型 2000 万像素 黑白 CMOS

显示器

12.1 型 LCD 显示器（WXGA ：1280 × 800）

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式

300 mm × 200 mm（4 角 R50）

高精度测量模式

225 mm × 125 mm

最小显示单位

0.1 µm

重复精度

广视野测量模式

座标台未移动

±1 µm

座标台移动

±2 µm

高精度测量模式

座标台未移动

±0.5 µm

座标台移动

±1.5 µm

测量精度 ±2σ

广视野测量模式

无连接

±3.9 µm ^*1

有连接

±（7 + 0.02 L）µm ^*2

高精度测量模式

无连接

±2 µm ^*3

有连接

±（4 + 0.02 L）µm ^*4

外径测量

测量精度

广视野测量模式

±（2.8 + 0.02 D）µm ^*5

高精度测量模式

±（1.4 + 0.04 D）µm ^*6

动态光探头测量

可测量范围（XY）

190 mm × 90 mm

ZD测量深度

30 mm

动态光探头直径

ø3 mm

测量力

0.015 N

重复精度

±2 µm ^*7

测量精度

±（8 + 0.02 L）µm ^*8

高度测量单元

测量范围

0 至 75 mm

测量力

0.3 N

测量位置精度（XY）

±0.2 mm ^*9

最小显示单位

1 µm

可测量范围（XY）

广视野测量模式

145 mm × 95 mm

高精度测量模式

107.5 mm × 95 mm

重复精度

±2 µm ^*10

测量精度

±7.5 µm ^*11

外部遥控输入

无源触点输入（有接点 / 无接点）

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 输出
额定负载 24 VDC 0.5 A
ON 电阻 50 mΩ 以下

接口

LAN

RJ-45（10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T）

USB 3.1

4 组（背面 ：4 组）

USB 2.0 系列 A

4 组（正面 ：2 组、背面 ：2 组）

显示器输出

DVI-D

存储

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透过

远心透过照明

落射

4 分割多角度照明（电动）、环状（指向性）照明（电动）

XY 座标台

移动范围

200 mm × 100 mm（电动）

承受负重

7.5 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm（电动）

电源

电源电压

100 至 240 VAC ±10％ 50/60 Hz

消耗功率

430 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+10 至 35℃

相对湿度

20 至 80%RH（无凝结）

过电压类别

Ⅱ

污染等级

2

重量

约 35 kg

^*1 在 ø80 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时
^*2 在 280 mm × 180 mm（4 角 R40）范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 3 kg 以下时。L 为座标台移动量（mm）
^*3 在 ø20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C 时
^*4 在 220 mm × 120 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 3 kg 以下时。L 为座标台移动量（mm）
^*5 在 L218 mm × ø60 mm 范围内。于调焦点位置，将目标物配置于镜头视野ZY，使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 ±1°C、D 为 Y 方向距离（mm）
^*6 在 L206 mm × ø20 mm 范围内。于调焦点位置，将目标物配置于镜头视野ZY，使目标物的轴方向朝向镜头视野水平方向时。使用环境温度 +23 到 1°C、D 为 Y 方向距离（mm）
^*7 检测方法为标准时。采用适用于较深位置的检测方法时为 ±3 µm
^*8 采用标准检测方法、使用环境温度 +23 ±1°C、座标台载重 3 kg 以下时。采用适用于较深位置的检测方法时为 ±（10 + 0.02 L）µm。L 为测量长度（mm）
^*9 环境温度为 +23 ±1°C 的情况下
^*10 测量ZD高度设为 30 mm 以下时。测量ZD高度设定在 30 mm 至 75 mm 的范围内时为 ±3 µm
^*11 标准玻璃、测量ZD高度设为 30 mm 以下时。测量ZD高度设为 30 mm 以下时。测量ZD高度设定在 30 mm 至 75 mm 的范围内时为 ±9.5 µm