赛默飞 Axia ChemiSEM 钨灯丝扫描电子显微镜SEM

30 kV 时 3.0 nm (SE)

30 kV 时 3.0 nm (SE)（低真空）

3 kV 时 8.0 nm (SE)

3 kV 时 7.0 nm（BD 模式* + BSE）

内宽：280 mm

接口：多个附件接口，可加装EBSD 和 EDS 等多种附件。

XY：120x120 mm

倾斜：-15 到 +90 度

旋转：n x 360°

在 ZTR 轴已卸下时：

大面积TrueSight EDS 探测器

Quasor-II EBSD

ChemiSEM 高级功能，可实现漂移矫正及谱峰剥离

ChemiView 用于能谱离线数据处理

电子束减速模式

CleanHeater 加热台 (最高1,100°C)

阴极荧光探测器

AutoScript 4 Software—基于Python的应用程序编程界面

Thermo Scientific TopoMaps 软件实现图像着色及分析，以及3D表面重构