赛默飞 Apreo 2C/S 热场发射环境真空扫描电子显微镜SEM

分辨率

• 30kV下0.7nm(STEM)

• 15kV下0.5nm(样品台减速）

• 1kV下0.9nm

• 1kV下0.8nm(样品台减速）

• 1kV下1.0nm（工作距离10mm，样品台减速）

• 500V下0.8nm(样品台减速）

• 200V下1.2nm(样品台减速）

• 30kV下0.7nm(STEM)

• 15kV下0.9nm(样品台减速）

• 1kV下1.2nm

• 1kV下1.0nm(样品台减速）

• 500V下1.2nm(样品台减速）

标配探测器

• ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+

• ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+

PivotBeam

• 选区电子通道衬度模式（也称为"摇摆光束"模式）。

• 不适用

选配探测器

• DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼光谱、EBIC 等

ColorSEM技术（选配）

• 基于能谱仪（EDS)实时定量数据对扫描电镜图像进行着色。可提供的数据包含点分析、线扫描、面扫描、谱图结果及可靠的Noran定量结果

着陆能量范围

• 20 eV – 30 keV

样品台偏压（样品台减速）

• -4000V~+600V

低真空模式

• 选配：样品仓气压范围10-500Pa

样品台

• 五轴电动马达台，XY轴行程范围110x110mm2，倾斜范围-15°~+90°，zui大样品重量：5kg(不倾斜）

zui大束流

• 50 nA（选配 400 nA）

标准样品台

• 一款多功能样品台，可以容纳18个标准钉台（φ12mm),有三个预倾斜桩，截面样品台和两个STEM载位

样品仓

• 340mm内宽，12个端口，zui多同时安装三个EDS（两个互为180°），EDS、EBSD共面安装并与样品台的倾转轴正交