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二手 Hitachi S-9220 特征尺寸扫描电子显微镜 CD-SEM
- 品牌:日立
- 型号: S-9220
- 产地:日本
- 供应商报价: ¥ 2200000 (市场参考价:¥ 4000000)
- 上海爱仪通网络科技有限公司 更新时间:2024-04-26 16:12:54
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- 详细介绍
日立CD-SEM二手现货扫描电镜S-9220适用于8英寸晶圆的监测,CD检测范围0.1~2.0μm,最大吞吐量45wph,放大倍数1000~300,000。
设备尺寸和参数:
主机尺寸: 1200(W)*1930(D)*1850(H) mm, 1850kg
显示单元: 600(W)*1360(D)*1850(H) mm, 320kg
电源:535(W)*870(D)*1800(H) mm, 300kg
冷却水循环器:407(W)*484(D)*880(H) mm, 55kg
翻新要求:
大修主柱
按要求检修主柱,包括清洗抛光枪室和阳极极片,更换聚光镜孔径,清洗聚光镜极片,清洗物镜极片,更换O型圈。
更换新枪灯丝和透镜光圈。
验证高压电源的工作情况。
修复二次电子探测器。
烘烤主柱并抽真空,以验证其符合OEM规范。
检查晶圆处理器和X/Y级的操作。
润滑所有运动部件。
检查所有测量功能并重新校准。