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薄膜测量系统
- 品牌：美国New span
- 型号： TF-168
- 产地：美洲 美国
- 供应商报价：面议
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上海涉科光电科技有限公司
更新时间：2025-02-12 16:16:35 -
销售范围售全国
入驻年限第3年
营业执照已审核
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产品特点
- NewSpan成立于1997年，是一家位于佛罗里达州迈阿密的高科技公司。NewSpan正在开发和销售先进技术和传感器以支持各种国防、国土安全和商业应用。公司拥有以下实验室每个实验室都涵盖一定的技术领域:非线性光学实验室、光学和成像实验室、光子学实验室、无掩模光刻实验室。
详细介绍
介绍
薄膜测量系统TF-168采用非接触式光学方式，测量多层光学薄膜/镀层的厚度、折射率系数和吸收系数。
应用
光学器件上的介电镀层，镀膜的光学滤光片，晶圆上的半导体，液晶器件，多层聚合物薄膜
薄膜层如：SiO2, CaF2, MgF2, Photoresist, Polysilicon, Amorphous Silicon, SiNx, TiO2, Sol-Gel, Polyimide, Polymer
基底材料如：Silicon, Germanium, GaAs, ZnS, ZnSe, Acrylic, Sapphire, Glasses, Polycarbonate, Polymer, Quartz.
规格参数
测量范围
20 nm-50 µm (只测厚), 100 nm - 10 µm (厚度 及 n & k)
可测层数
多达4层
光斑大小
0.8 mm - 4 mm可调
样品大小
>=1 mm
厚度准确度
± 1 nm 或 ±0.5%
重复精度
0.1 nm
平台大小
7" x 7" （178 mm x 178 mm）
系统大小
8" x 9.5" x 14"
系统包含如下：
*卤钨灯(360-2500 nm)，SMA905接口
*USB微型光谱仪(350-1000 nm) ，SMA905接口
*硅片反射标准样品
特点：
*桌面式集成一体化系统
*卤钨灯、USB微型光谱仪可通过光纤单独接出来使用，用于其他光谱实验
*基底折射率和吸收系数
*薄膜厚度测量，平均值和方差
*薄膜折射率和吸收系数
*自由选择计算的波长范围
*自由选择预诂厚度范围以减少计算时间
*方便从包含的数据库中选择薄膜和基底材料
*客户自定义材料的选择和导入
沪公网安备 31011502008050号